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COG倒装设备的控制系统研究 Research of the Control System of the Equipment of the COG.pdfVIP

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Research·Developmentl口圜嘲 COG倒装设备的控制系统研究木 ResearchoftheControl ofthe oftheCOG SystemEquipment 常永亮 巴政宇 盛鑫军 熊振华 (上海交通大学机械与动力工程学院,上海200240) 摘要:玻璃覆晶封装技术是一种将裸晶片互连到玻璃基板上的封装技术。通过计算机控制系统,基于 PLC的伺服驱动系统、图像处理系统、温度控制系统和压力控制系统等,实现高稳定性和准确工艺要求下的IC芯 片和玻璃基板的粘贴动作的形成和协调;并对开发的PLC控制系统进行了优化,实现了生产效率的提升。 关键词:COG倒装设备PLC控制系统 DOI:10.3969/j。issn.1007—080x.2012.04.005 on isa tomakethe onthe glass technology chipbonding glass.ThroulgIIcomputer Abstract:Chip package basedon and controllingsystem,∞rvo·drivingsystem PLC,imageryprocessingsystem,temperaturecontrolling realizesthe movementandcoordinationIC and board controlling bonding amongchip glass pressure system,ete,it stableandaccurate thePLC and the under technologicalrequirement,whichoptimizes controllingsystemimproves high productionefficiency. PIE bonder words:COG system Key controlling 0引言 l COG倒装设备结构及控制系统介绍 on 实验室自行研制的COG倒装设备采用日本三菱 COG(chipglass)是制造液晶显示模块LCM crystaldisplaymodule)的关键技术之一;是采MELSEC—Q系列Q0luCPU的可编程控制器PLC,作 (1iquid conductive 用各向异性导电薄膜ACF(anisotropic 为可以向基板上安装的输入输出模块存取的输入输出 film)和热压焊工艺,将精细间距的IC粘贴封装到玻 璃基板上,实现Ic和玻璃基板的电气和机械互连的 LD指令(LD 一种先进工艺设备。COG组装工艺设备是IC与玻璃 基板连接的主要设备,可大大减小LCD模块的体积,服电机,选用了QD72P3C3内置计数器功能控制模块控 易于大批量生产,广泛应用于平板显示器行业,特别 制3个步进电机。伺服电机选用的是安川SGMJV一 是液晶模块的组装。本文通过对实验室自行研制的 COG倒装设备及其工艺流程的研究,基于PIE开发2R8A01A。步进电机为SYNTRON 出设备控制系统,并对其进行了优化,以提高生产 电机。气动元器件(汽缸、真空用压力开关等)

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