%8c运动方式下小抛光盘抛光特性之比较.pdfVIP

光学精密工程990512 光学精密工程 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING 1999年 第7卷 第5期 No.5 Vol.7 1999 数控抛光中不同运动方式下 小抛光盘抛光特性之比较 王权陡　　余景池　　张　峰　　刘民才 　　摘　要　阐述行星运动与平转动两种运动方式下数控抛光中小抛光盘的工作函数， 论述了抛光盘本身在不同运动方式下的材料磨损情况。通过采用计算机对抛光盘工作函 数及磨损曲线的模拟将抛光盘的两种运动方式进行了分析与比较。 　　关键词　数控抛光　工作函数　行星运动　平转动 　　中图分类号　TQ171.684　　文献标识码　A Polishing Performance Comparison of Small Polishing Pad Worked in Different Motion Modelin Computer Controlled Optical Polishing 　　WANG Quan －Dou ，YU Jing －Chi ，ZHANG Feng 　　（State Key Lab．of Applied Optics ，Changchun Institute of Opticsand Fine Mechanics ，Chinese Academy of Sciences ，Changchun 130022 ） 　　LIU Min －Cai 　　（Chengdu Fine OpticalEngineering Research Center ，Chengdu 610041 ） Abstract　Working functions of the smallpolishing pad thatworks in two motion models are dis －cussed in the process of computer controlled opticalpolishing ，one modelis planet motion ，the other is translation ．Also ，The wearing distribution ofthe polishing pad in two motionsis introduced ．Atlast ，the performance curve and wearing distribution curve ofthe polishingpad are worked out by computer simulation ．By means of analyse and comparison in twomodel simulation results ，a better motion model is selected to be used in future process ofcomputer controlled opticalpolishing ． Key words ：Computer controlled optical polishing ，Working function ，Planet motion ， Translation 1　引言 　　随着非球面元件越来越多的使用在光学系统中，光学非球面元件的制造技术也随之 不断的发展与进步。其中，小抛光盘数控抛光技术是70年代兴起的一门新兴技术，这一 技术手段主要是针对口径较大的高精度非球面元件，特别是应用在空间光学系统中轻量 file:///E|/qk/gxjmgc/gxjm99/gxjm9905/990512.htm（第 1／8 页）2010-3-22 20:49:35 光学精密工程990512 化的非球面元件的加工与制造。它是根据定量的面形检测数据，在加工过程控制模型的 基础上，依靠计算机控制一个小抛光盘（直径通常小于工件直径的1/4）对光学元件表 面进行修抛，通过控制抛光盘在元件表面的驻留时间及抛光盘与元件间的相对压力来控