切割裂片础工艺及技术.ppt

TFTBG玻璃切割技術研討會報告— 切割裂片基礎工藝及技術研究;Content;Content;斷裂機理—微裂紋理論;斷裂機理—微裂紋理論;切割原理;切割原理;切割原理—Median crack的產生;切割原理—Lateral crack的產生;裂片原理;Content;切割裂片工藝;劃线法是用定壓,定深之刀輪(具有一定宽度且硬度大于玻璃硬度) ,施以玻璃定量之應力以造成穩定之垂直裂痕(Median crack ).;劃线法是用定壓,定深之刀輪(具有一定宽度且硬度大于玻璃硬度) ,施以玻璃定量之應力以造成穩定之垂直裂痕(Median crack ).;切割工藝參數;切割刀輪對Median crack的影響;刀輪下壓量對Median crack的影響;切割壓力對Median crack的影響;切割速度對Median crack的影響;切割刀輪對Lateral crack的影響;刀輪下壓量對Lateral crack的影響;切割壓力對Lateral crack的影響;切割速度對Lateral crack的影響;切割條件的選擇;裂片條件的選擇;Content;刀輪的??擇;刀輪的分類:真圓刀(normal刀輪), 鋸齒刀(penett/mico penett/APIO);根據鋸齒刀齒的形狀又可以把鋸齒刀分為:“U”形凹槽(penett, micro penett)和 “V”形凹槽(APIO刀輪) 刀輪的壽命與成本;刀輪SEM與EDX分析 ;各種刀輪切割強度對比(資料來源:Corning) 真圓刀與penett刀輪(實驗面板:corning E2k,T=0.63mm單板panel) ;刀輪角度的選擇 ;切割刀輪使用壽命的評估(for SEC);The relation between lateral crack and scribing distance ;;1.77” Scribing quality monitor for 1st 30K Sampling 40pcs per 1000m;隨著刀輪的磨耗,bending shape值及strength值均有減小; 刀輪實際切割長度=6000m時,玻璃failure load的均勻性變差,不能滿足Nokia的要求; 廠商建議此種刀輪的life time為5000m,與實際驗證結果較吻合.;The relation between lateral crack and scribing distance ;BEOL現有刀輪切割狀況對比;BEOL現有切割刀輪說明 產線現用刀輪種類及用途: ;Content;鐳射切割技術研究;LCD切割技術流程比較 鐳射切割的優勢 切割断面光滑,平整,無任何crack和surface crack 切割出來的玻璃強度比傳統刀輪機械应力作用切割的強度要高 無需磨邊清洗製程 節省了空間 薄化製程面板的良率及可靠度提升;鐳射切割方法 常見的鐳射切割有以下四種方法 ;熱應力鐳射切割的三種方法 UV劃線+機械裂片 UV劃線+CO2裂片 刀輪起始裂痕+CO2裂片 熱應力鐳射切割的基本原理 雷射施加於材料表面使材料的溫度低於熔點 利用熱應力的急速變化造成材料產生裂紋;熱應力鐳射切割的問題 切割道方向不易控制 裂痕在玻璃上的起點與終點不易控制 裂痕路徑走向不易控制 表面品質不易控制 物體在加熱至本身汽化過程中,會有焦黑的現象 瞬間能量過大,被加熱部融鎔而產生凸緣 雷射切割無形成Surface Crack, 導致無固定的Origin, 因此有較強的破裂強度, 但均勻性較差 ;Best Regards to All!