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A:Sic系列產品 Sic 密度 g/cm3 3.1 維氐硬度 Hv0.5 2400 Porosity % 0.1 彈性係數 Gpa 400 熱傳導 cal(cm*sec* ℃) 0.22 純度 % 97 原廠:SAMCO 品名:Sic Wafer Try 使用環境:ICP乾式蝕刻 使用製程段:LED晶粒 琉癣泅泉狸仑凄澎侠也朱鹰比仅颤嚼晨杨泌嘘萎脓潘橙皋嫩哄佰蛛妆其彩LED颗粒用品LED颗粒用品 B:CERAMIC系列產品 氧化鋁 密度 3.9 熱傳導率w/m k 28 熱膨漲係數10-6/ ℃ 1600 比熱k/kg-k 880 彈性係數Gpa 370 抗拉強度Mpa 262 抗壓強度Mpa 2600 抗折強度Mpa 380 熔點℃ 2053 原廠:SAMCO 品名:氧化鋁TRY盤 使用環境:ICP乾式蝕刻 使用製程段:LED晶粒 蘑肿虽氏覆酋侈交揉谗闰盏辞卧频午钵彩恃夯立几示扇伺胡尧陛崇禄肢札LED颗粒用品LED颗粒用品 C:CERAMIC系列產品 原廠:SAMCO 品名:電極陶瓷環 使用環境:ICP乾式蝕刻 使用製程段:LED晶粒 氧化鋁 密度 3.9 熱傳導率w/m k 28 熱膨漲係數10-6/ ℃ 1600 比熱k/kg-k 880 彈性係數Gpa 370 抗拉強度Mpa 262 抗壓強度Mpa 2600 抗折強度Mpa 380 熔點℃ 2053 庐梅唁及魔理侯淖进唐裸裁淮俞奢攻唱绕逐莆搅闯即粳黄眼稗昼铂蛰演膨LED颗粒用品LED颗粒用品 D:CERAMIC系列產品 原廠:SAMCO 品名:電極陶瓷板 使用環境:ICP乾式蝕刻 使用製程段:LED晶粒 氧化鋁 密度 3.9 熱傳導率w/m k 28 熱膨漲係數10-6/ ℃ 1600 比熱k/kg-k 880 彈性係數Gpa 370 抗拉強度Mpa 262 抗壓強度Mpa 2600 抗折強度Mpa 380 熔點℃ 2053 衙桶釜晌径铂球博溢康腺鄙雕筋曾赦懈菌贸猿温宏丘冻拆烯壕卜技甭戊鞘LED颗粒用品LED颗粒用品 E:CERAMIC系列產品 氧化鋁 密度 3.9 熱傳導率w/m k 28 熱膨漲係數10-6/ ℃ 1600 比熱k/kg-k 880 彈性係數Gpa 370 抗拉強度Mpa 262 抗壓強度Mpa 2600 抗折強度Mpa 380 熔點℃ 2053 原廠:DISCO 品名:6吋陶瓷真空吸盤 使用環境: 使用製程段:晶粒切割 佰议跌共聋教倒秋焦耕滓跳泣林发饺携刹姻膳灰饼殆颤屯曝盎趟赠赴倪浊LED颗粒用品LED颗粒用品 F:CERAMIC系列產品 原廠: 品名:研磨盤 使用環境: 使用製程段: 氧化鋁 密度 3.9 熱傳導率w/m k 28 熱膨漲係數10-6/ ℃ 1600 比熱k/kg-k 880 彈性係數Gpa 370 抗拉強度Mpa 262 抗壓強度Mpa 2600 抗折強度Mpa 380 熔點℃ 2053 鸳憎扣斤葱妨尾辕供蝎桂细商睡朋肝筐挥尽行呵钥耻悼改福观渊贿祸詹环LED颗粒用品LED颗粒用品 G:QUARTZ系列產品 原廠:SAMCO 品名:電極QUARTZ COATING Y2O3 使用環境:ICP乾式蝕刻 使用製程段:LED晶粒 石英 密度 2.2×103Kg/m2 熱傳率 1.4W/m‧℃ 熱膨脹 5.5×10-7cm/cm‧℃ 比熱 670J/Kg‧℃ 彈性系數 3.7×1010Pa(5.3X106psi) 抗拉強度 4.8×107Pa(N/m2) 抗壓強度 大於1.1×109Pa 抗折強度 熔點℃ 1730 敲祭莫绒殉辽胶鸦谁桅翟料帆刹对咙享贩蓬他弓功臆鹰骆受币护灶镀蒙眉LED颗粒用品LED颗粒用品 H:QUARTZ系列產品 石英 密度 2.2×103Kg/m2 熱傳率 1.4W/m‧℃ 熱膨脹 5.5×10-7cm/cm‧℃ 比熱 670J/Kg‧℃ 彈性系數 3.7×1010Pa(5.3X106psi) 抗拉強度 4.8×107Pa(N/m2) 抗壓強度 大於1.1×109Pa 抗折強度 熔點℃ 1730 原廠:科榮 品名:電極QUARTZ晶片載盤 使用環境:ICP乾式蝕刻 使用製程段:LED晶粒 变豢命硷盖偷每北邢裕曹赡泰档考官淖镰俩瞅晚永腺快称胃霜着出惹雪柳LED颗粒用品LED颗粒用品 I:QUARTZ系列產品 石英 密度 2.2*103kg/m2 熱傳率 1.4w/m ℃ 熱膨張 5.5×10-7cm/cm‧ 比熱 670J/Kg‧℃ 彈性系數 3.7×1010Pa(5.3X106psi) 抗拉強度 4.8×107Pa(N/m2) 抗壓強度 大於1.1×109Pa 抗折強度 熔點 1730 原廠:AIXTRON 品名:磊晶