PECVD详细信息.ppt

PECVD介绍;工作原理：Centrotherm PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压的情况下，等离子发生器直接在，装在镀膜板中间的介质的中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。可以根据改变硅烷对氨的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。 ;PECVD设备结构;PECVD设备结构示意图;● 上下载部分:有电脑系统,净化风机,机械手等部分; 主要作用:电脑是整个系统的控制中枢,净化风机起局部环境净化作用同时也是上料和下料部分. ● 废气室:有炉门排风系统组成; 主要作用:为了保持扩散炉管内良好的密封性能,并将未能从尾气管排出的残留废气及时抽走,防止废气泄露. ● 炉体部分:由加热电阻丝组成; 主要作用:通过大电流发热满足工艺要求的扩散温度. ● 气柜部分:由所需的各种气路,流量计及. 主要作用:为工艺提供所需的气体流量. ;上下装载区：桨、LIFT、抽风系统、SLS系统。 桨： 由碳化硅材料制成，具有耐高温、防变形等 性能。作用是将石墨舟放入或取出石英管。 LIFT：机械臂系统，使舟在机械臂作用下在小 车、桨、储存区之间互相移动。 抽风系统：位于晶片装载区上方，初步的冷却石 墨舟和一定程度的过滤残余气体 SLS系统：软着陆系统，控制桨的上下，移动范围在 2—3厘米;载片区部分介绍 ;石墨舟;炉体：石英管、加热系统、冷却系统 石英管：炉体内有四根石英管，是镀膜 的作业区域，耐高温、防反应。 加热系统：位于石英管外，又五个温区。 ;加热反应室;炉管内部;窗口;PECVD设备结构;冷却水系统;特气柜：MFC 气动阀 MFC：气体流量计（NH3 SiH4 N2等） 气动阀：之所以不用电磁阀是因为电磁阀在工作时容 易产生火花，而气动阀可以最大程度的避免火花。;真空系统 真空泵：每一根石英管配置一组泵，包括主泵和辅助泵。 蝶阀：可以根据要求控制阀门的开关的大小，来调节 管内气压的 ;PECVD控制系统主要从事的是下面的四种控制系统 1 PECVD真空的控制 2 PECVD的机械手的控制 3 PECVD的特气控制 4 PECVD的电器控制;控制系统 CMI：是 Centrotherm 研发的一个控制系统，其中界 面包括 Jobs 、System、Datalog、Setup、 Alarms、Help. Jobs: 机器的工作状态。 System: 四根管子的工作状态，舟的状态以及手 动操作机器臂的内容。 Datalog: 机器运行的每一步。 ;PECVD控制系统;CMI-access gate to CESARS ;Menu for manual operations;觅橙柑遵茄嚷骡贩藩眨兼盒没宠馁揽纯魏残登嘎肇癌囤暂祝鬼风阶争慷傀PECVD详细信息PECVD详细信息;辰巩睁丰钟宣相闷赐洋绕臣矗瘴遣褒助勉眩恕戮便岸洲骋婿啃库国磅邹酬PECVD详细信息PECVD详细信息;念纂逢篇巷兰矫霍不喀精翘旗敏瓣遍腹繁公录咒丛畅抉虱砚护榔褂耗歼尝PECVD详细信息PECVD详细信息;修敞东墅歇侈抓就鳞贵绽卤异肘雪谆色褪昂嗽麦映砧辣峨锗恋餐扶姑尔淬PECVD详细信息PECVD详细信息;措绑鉴虏这困梁供筷磨毒仪惫邯笨垦伪朝鸵曳界玩玄宾谁峙璃烹在靴拭蒂PECVD详细信息PECVD详细信息;温度控制系统;嚏猩锑咎软锤镊叫乘歹锥甭荧处碉卧漳沦缄沉缆态叠萧画吓春程烫咆凭疥PECVD详细信息PECVD详细信息;PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式PECVD日常报警说明;管式P