TFC图形教程.doc

HYPERLINK /bbs/read.php?tid-16445.html 利用TFC求膜层的N与K图文教程 1．? ? 首先利用晶控控制沉积单层膜，厚度约4－7个1/4个中心波长，，这里假设在K9基底上沉积单层ZnS薄膜，晶控显示厚度390nm；?2．? ? 然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率，测量范围最好宽些，这里测量400－1500nm，利用list选项导出所测量数据，并保存为TXT格式，这里命名ZnS.TXT,如图所示： 3. 打开TFC，选择modify－materials 4．继续选择Add Material,填写材料名称，选择合适的N与K的拟合公式，这里选择Cauchy与Sellmeier公式，如果不合适，可试选别的公式，点OK结束。 5．试填写A0与B1等各系数，以后熟练可凭经验填写，点击Fit Data选项结束此步。 6．根据实际情况填写各选项，点击Set Constraints结束此步。 ?7. 填写薄膜厚度与是否优化，点OK离开。 8.回到上界面，点击Computer进行计算 9.下面为计算结果图，如果感觉结果可接受点击Accept选项，如不接受，点击Reject选项返回重选拟合公式，修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。 10．结果处理：感觉结果可接受点击Accept选项，出现下面界面，点击convert选项，填写材料名称，点击OK，即可保存所计算的N与K值，如下图所示。完工。 怎么在Plot窗口中显示两条以上的曲线？ 一个截至率光片的设计实例TFC 的设计步骤 File-New coating 2.填写中心波长，入射角，基底参数： 3.点击Analysis Parameters，填写计算波长范围： 4.Modify－Stack formula 填写膜系材料与公式： 5．点击Generate Layers，退出窗口。 6．计算： 7.显示结果： 8.完工。?附录：?如显示反射率曲线，可设置Set plot Parameters: TFC优化过程图文说明 400nm－900nm???? T≥99％ 先进行基本设置 ? 然后设置膜系，这里材料选择通用的TiO2与Sio2 ? 3.设置优化目标，大家看明白，在那里设置。discrete为离散的优化目标continuous为连续的优化目标，一般选择离散目标优化 ? 4.选择优化方法 ? 5.优化计算 6.显示结果 ? ?问： 我听说层数多的膜要用透射监控，层数少的膜要用反射监控，不知道为什么？?? ? 我该如何把计算出来的透射光控曲线运用到实际生产当中去？就是说如何让镀膜机按照这个曲线进行光控镀膜，我这边用北仪机（镀不了很多层的膜），optorun1300镀膜机（可以镀比较复杂的膜）?? ? 还有一个就是如何找到机台的光控Tooling，我是这样理解的，不知道对不对：?根据计算出来的理论光控曲线进行镀膜，镀出来陪镀片拿去测出的光谱曲线，把光谱曲线代入TFC，与设计出来的理论指标曲线放在一起看看，看看差异在哪里，设置膜料TIO2和SIO2分别为组1和组2，再分别优化组1和组2，?? ? 这样就可以判定是哪几层多镀了还是少镀了，再把两个物理厚度相除一下，就得出了该机台的光控Tooling，再怎么把光控Tooling代入，来修正光控曲线呢？ 答：反射与透射监控与层数关系不是很大吧,只要你机器比较片足够多,这个我不太懂,计算Tooling值有很多方法,可以利用光谱曲线计算实际膜厚,或着直接测量膜厚,如椭偏仪,与理论厚度相比即是Tooling值, ?根据结果我算出透射光控曲线 透射光控曲线参数设置 反射光控曲线怎么会这样呢？ 怎样才能把多个设计曲线画在一张图上? 在TFC设计中，不显示颜色，啥回事？比如基底是K9，当我优化出物理厚度，还有反射曲线时，我想看一下颜色，我在镀制中是否一样。但看不到，讲必须中心波长在780以上。 跟中心波长无关，只要在显示的波长中包含可见光波段（380-780）就行。 TFC 添加材料步骤 在这里以添加ZnS为例：?首先你有ZnS参数，为TXT格式，如下图所示：?添加步骤如下所示。 五氧化二钽折射率怎么來?你可以通过光谱仪测量计算,也可以由椭偏仪直接测量,然后保存为TXT格式, 怎样把光学厚度复制其它文档 可以保存TXT文档 怎样把由tfc设计的制程的膜厚转变成光量？ 要善于利用tfc自带帮助功能? 为什么有时候，ＴＦＣ的图形输出是角度与反射或透射率的形式呢．怎样才能把它转化为波长与反射率或透射率的形式？?