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高志山-光学检测技术及仪器发展动态兼容模式-中国国际光电.PDF

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高志山-光学检测技术及仪器发展动态兼容模式-中国国际光电

南京理工大学 2012 中国国际应用光学专题研讨会 光学检测仪器的新进展 Advances in Technology of Op tical Measurement 志山 教授/博士生导师 E-mail zhishgao@mail.njust.edu.cn 南京理工大学 电子工程与光电技术学院 Nanji ng University of Science and Technology Contents 1 现代光学元件的发展及其对光学检测的需求 2 光学检测仪器发展的前沿动态 3 国内光学测试技术研究动态 2012 中国国际应用光学专题研讨会 南京理工大学 1. 现代光学元件的发展及其对光学检测的需求 v现代光学元件的制造发展的特点: ①以多功能、精密化为特点的大型化甚至巨型化光学 工程和仪器 ②以大批量化、产业化为特征的超小及超大光学元件 生产 2012 中国国际应用光学专题研讨会 南京理工大学 1. 现代光学元件的发展及其对光学检测的需求 折射率、光学均 光学材料参数 匀性、内应力等 面型、曲率半径 光学元件参数 等 光学相关量 光学系统像质评 分辨率、MTF等 价 光学检测仪器 的检测内容 装校过程中的检 空气间 、中心 测 偏等 位移、形变、流场、 非光学量 间隙、轮廓、粒 (棒) 等 2012 中国国际应用光学专题研讨会 南京理工大学 1. 现代光学元件的发展及其对光学检测的需求 NIF

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