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高志山-光学检测技术及仪器发展动态兼容模式-中国国际光电
南京理工大学
2012 中国国际应用光学专题研讨会
光学检测仪器的新进展
Advances in Technology of Op tical Measurement
志山 教授/博士生导师
E-mail zhishgao@mail.njust.edu.cn
南京理工大学 电子工程与光电技术学院
Nanji ng University of Science and Technology
Contents
1 现代光学元件的发展及其对光学检测的需求
2 光学检测仪器发展的前沿动态
3 国内光学测试技术研究动态
2012 中国国际应用光学专题研讨会 南京理工大学
1. 现代光学元件的发展及其对光学检测的需求
v现代光学元件的制造发展的特点:
①以多功能、精密化为特点的大型化甚至巨型化光学
工程和仪器
②以大批量化、产业化为特征的超小及超大光学元件
生产
2012 中国国际应用光学专题研讨会 南京理工大学
1. 现代光学元件的发展及其对光学检测的需求
折射率、光学均
光学材料参数
匀性、内应力等
面型、曲率半径
光学元件参数
等
光学相关量
光学系统像质评
分辨率、MTF等
价
光学检测仪器
的检测内容 装校过程中的检 空气间 、中心
测 偏等
位移、形变、流场、
非光学量 间隙、轮廓、粒 (棒)
等
2012 中国国际应用光学专题研讨会 南京理工大学
1. 现代光学元件的发展及其对光学检测的需求
NIF
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