双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术-光子学报.PDF

27 10 Vo1. 27 No . 10 1998 10 ACT A PHOT ONICA SINICA October 1998 章海军　吴　兰　黄　峰 ( , 310027) 研制了双成象单元扫描隧道显微镜 ( STM) , 可同时对参考样品 原子晶格和被测样 品扫描成象. 计数原子晶格 数目, 即可精确测定被测样品图象 尺度, 以原子尺方式实现严 格 纳米计量 . 本文介绍双成象单元 STM 原理和仪器系统, 讨论原子尺纳米计量 可 行性, 给出被测样品图象 纳米计量结果. 双成象单元; ST M ; 原子尺; 纳米计量 0 , . , . 1 2 ( ST M) ( AFM) , . , , , , . 3, 5 , ( HOPG) . 6, 7 , . , , X Y , , ; , , , ; , , . , . , STM ( ST M) . , . , . 1 1 ST M . ST M , X Y , HOPG , . HOPG 0. 25nm, , . , , . 收稿日期: 1998—07—28 10 . 887 2 STM . X Y , Z , . STM , ( Inchw orm) ( IDM) 8, 9 . HOPG , 1STM . : Fig. 1The concept of nano-metrology based on atomic reference scale by t he dual imaging unit ST M , , . ST M , . : . , D/ A , . / X Y A D ( ) , . 2 ST M , HOPG , . : 1. 0nA , + 50mV, , 2STM 23 0. 1 Fig. 2Schematic diagram of t he dual imaging unit . , HOPG ST M , . 3 ST M HOPG , 5nm20nm. AB , , A B 13. nm, 13. 5nm, , 1%. ST M . ST M 3ST M ( a) (b ) HOPG . HOPG , Fig . 3Crystalline lattice images of t wo HOPG chips . simultaneously scanned by the dual imaging unit STM. ( a) reference side; (b) test side 27 888 , 10 . 600150 , . , . Y , , Z . 12nm, 120nm . .