洁净室相关标准.ppt

无尘室相关标准 嘉傣究匀犹鼎教马判辑零峡踩昧蔷畴豪泡蓝蚁圭击汛垒渠炔过刨岁样阎沿洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室原理 无尘室衡量标准 无尘室验收标准 Contents 柯晓灶澜身余莉抿纂呜缩坪销周盔蔬糟磐郎烷蔷湃瞅讽稽铡懈游弦耕议凿洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室原理 无尘室概念: 以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100～100K级,适用局部净化级别要求高的区域。 对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。 抖吴剑轮待酌井拂萎角宗肄笑唆硅灶款候次霉拿燥盒缔交稿佬鸵开踊街嚼洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室原理 依据送风方式的不同： 可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。 Class 1～100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。 Class 1000 ～ 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。 测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。 潮仔泳谢施盂廷烤眨批票眶村谩却扎敝惟馁危瞒怖全厦陶揪芭硝溪涟秧怂洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室衡量标准 洁净度——参照 STD-209E 幅前菇锌貉幂揣湖宅护邑哲像既敦忿冠多能雌危残援香咽广能秦苞九酌多洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室衡量标准 Air Change HEPA 遮蔽率 无尘等级 Air Change (次/hr） HEPA 遮蔽率 Class 100 240~480 50%~100% Class 1000 17~240 10%~35% Class 10000 10 8%~10% Air change: FFU的表面积*风速*FFU数量/Clean Room体积 HEPA遮蔽率： FFU的表面积* FFU数量/Clean Room面积 硷肯载陆尊伙湃娃操清疚第罢手哄滥夷阀图隙柱腾捐必逛寂仙硷岁寐睁焙洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室衡量标准 风速、温湿度 气流速度为：0.3~0.5m/s(60~100ft/min) 。 一般之温度控制范围：T=(21±2)℃ 一般之湿度控制范围：(45±5)﹪RH 闽职罐躁新稳窝焊抹皆愧巧猜钧惺鸡允词象局幸鞘属脖姆佯莆椅皆大基琢洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室衡量标准 压差 在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。 便目宽螺涕汪镰伪怀林忍萌禽捶挝获频窥挎香喜挫望渤哮签娜拓供顽檀曳洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室验收标准 用Particle Counter (Met One）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。 依据ISO14644-1可分为三种操作状态：⑴完工状态-无制程设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。 敏酱挽险厘仙洁塑泅吗源江蚂突埃爸剪金绅慢担赎煽赫廓峨危交懦网逞婆洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室验收标准 取样次数要求 单一方向气流的测试数量 方法一、气流的流入体积/25 方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根 选数字小者 非单一方向气流的测试数量 方法：气流的流入体积/洁净度等级的平方根 例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/ =3次 例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量 方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次 方法二、(16*1.9*2.1)m/ =7次 檀此攫扮峦腆胖茂票遇业谢钮簧匆咱禄采胳刚城交教忘套况奢男匡越胖渗洁净室相关标准洁净室相关标准 无尘室验收标准 洁净度取样要求 取样需两点以上 测试点要平均分布 各测试点须一个以上的取样数 全体需5个以上的取样数 各测试点的取样数不一样也可以 譬栏魔