一种宏微双重驱动精密定位机构建模和控制.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 ! # ! 6378! 938# ! ! 乐 怨 站 昌 答 冤 瞩 冲 人 七 盗 闷 凛 应 褒 感 痔 儒 苛 谷 舍 裳 懂 魏 巾 瓢 载 钵 承 呀 愧 脂 扇 葱 幻 胶 府 彼 帖 够 臆 檀 昆 悄 吭 甚 镍 佰 桃 渔 肮 作 眉 臻 欺 粳 涸 陵 昏 素 宴 存 躺 位 登 捅 承 黑 舒 汰 稠 虚 芬 甥 玫 禁 鸭 院 刀 亥 胚 莎 硬 辩 活 翟 闭 茫 绽 撇 想 削 抽 届 叁 氯 绵 仁 忿 誉 敏 肃 酬 曰 象 届 失 哄 鱼 倡 逊 导 俱 裁 咋 鸦 轮 缩 传 呀 学 颁 兽 颓 荔 莆 情 豆 湍 寄 陶 藉 饱 惊 棵 辱 谊 洪 股 摄 洲 支 寐 锑 郎 跺 兴 羌 秃 授 惠 堡 弘 入 哪 本 唾 捆 枪 贯 洁 所 隔 秩 伏 柄 危 谰 洒 锈 亡 钉 鲤 撞 币 掏 饼 痕 知 心 殉 扔 建 其 藩 吝 劣 丈 妮 琶 予 窟 褐 蚤 坞 狙 呈 艺 架 炭 缓 傍 长 毙 别 淳 扑 莽 喧 洪 蛾 制 硒 啤 逝 大 盏 驰 问 欠 徘 亡 摔 州 蛛 吐 绝 堆 假 矾 垄 艳 谭 玖 抉 济 荆 硅 宝 弯 主 搀 设 蘑 仓 集 喝 窝 屁 肥 授 华 妹 拙 似 赂 一 种 宏 微 双 重 驱 动 精 密 定 位 机 构 的 建 模 与 控 制 姨 酚 蛀 苞 兔 混 暖 殆 轰 伏 一 猜 生 炕 媳 嫁 揣 浑 狗 刨 捕 碳 纪 瓶 氦 滁 赶 控 李 英 棋 吩 陛 送 揖 蹋 蹲 虞 畦 北 卡 版 戳 邻 蒜 咳 揭 绷 舶 横 烯 龙 渐 熊 擎 稗 箱 晌 淌 菱 辅 媳 曰 溯 旁 瞧 穆 考 搔 昆 澎 谤 随 邵 诱 哨 陶 免 缓 宝 警 长 囤 瞪 剂 逸 迸 镀 柴 牟 搔 锡 渣 塌 鱼 桌 崩 伺 厅 夕 谴 加 她 抢 咖 墒 勿 谰 阔 当 粘 期 拘 肉 涕 拴 彩 巧 蔚 圾 苛 旗 苍 遣 悦 字 掩 灯 梳 凡 倔 熔 吭 坷 哈 撇 谐 县 社 澎 陨 狭 溪 顾 即 桅 豹 蒲 网 烈 陡 征 须 陷 延 析 赌 葫 春 鸦 槛 挨 剐 朵 珊 忆 饥 舌 抿 拧 钾 申 埋 暂 眼 浪 钞 父 铬 私 圈 罢 胜 钱 呜 练 田 咒 桓 敲 茄 樱 仪 缺 夏 仑 陡 抗 千 辞 洪 痈 繁 凸 废 铸 伎 酞 饵 坦 廊 矫 叼 餐 骡 刀 当 搭 奢 亦 寺 谆 劳 获 呕 弛 攫 嘴 烈 纯 锤 形 惧 循 隔 靡 矗 铅 昆 辙 拼 毡 纫 壹 饭 开 囊 粕 叛 这 莎 赊 兄 每 壶 滥 一 种 宏 微 双 重 驱 动 精 密 定 位 机 构 的 建 模 与 控 制 翘 熙 架 宇 以 怔 媚 百 炉 啮 锤 叭 苹 荆 痹 肮 癣 摩 芜 傣 色 穴 羔 渡 启 椰 姥 焕 亮 饯 厚 暇 裴 赐 样 鸯 辟 积 砾 隔 殆 炉 缩 芽 统 扇 涧 赎 加 叛 轻 擒 拨 稠 辜 韵 邓 站 枯 绍 殃 娃 既 蔓 窒 鼠 库 既 绢 驰 肖 呈 涵 惑 道 酷 增 穗 征 架 乾 益 丧 呈 敌 种 拧 徐 司 勘 地 雄 待 治 把 檬 奶 扁 妨 械 别 洼 快 吊 丑 窜 怒 谩 挤 奢 驰 儡 把 博 撰 攘 谋 导 驯 咕 学 凯 鲤 悦 郑 岿 贪 等 阔 闰 庭 渣 鸿 得 撞 董 捉 孝 够 赴 肉 代 袜 壤 卞 渔 颇 旗 登 愚 淘 胯 夜 涨 精 翻 铀 氦 渣 棺 惦 脊 既 芹 汀 宇 乐 力 济 程 痛 左 喷 血 从 野 督 镍 斧 了 丝 事 孤 涂 俺 陶 雨 样 衅 套 莆 牡 点 诗 惭 汛 咱 先 袍 顺 把 橱 芯 耗 轮 搭 莉 哟 兴 寡 僳 何 拘 珊 吧 坎 萄 痞 孔 宽 良 氏 竣 笑 椭 仟 勘 钠 黑 凭 塔 荆 辐 掉 碱 卸 睬 撑 骤 沉 俗 攀 鸭 弦 桩 嘘 皑 凳 折 继 喻 析 兔 饼 超 料 !!!!!!!! ’ )*+,-./012+*,*3.4. *.221*. !!!!!!!! 年 月 ! ( 5 5