基于横向多晶硅二极管的CmOS兼容热风速计-东南大学学报.PDF

第 卷第 期 ３２ ４ 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３２Ｎｏ４ 年 月 ２００２ ７ （ ） Ｊｕｌｙ２００２ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ  基于横向多晶硅二极管的ＣＭＯＳ兼容热风速计 秦 明 黄庆安 （东南大学微电子机械系统教育部重点实验室，南京 ２１００９６） 摘要：提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的 兼容热风速计 该风速计 ＣＭＯＳ ． 的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造，工艺与 兼容 对横向多晶硅二极管的温度敏 ＣＭＯＳ ． 感特性调查发现，其正向电流随温度增加几乎呈线性增加，显示该多晶硅二极管具有负的电压温度 系数 其值约为 ，非常接近单晶硅上 结的电压温度系数 采用 工艺试 ． －１．８ｍＶ／Ｋ ＰＮ －２ｍＶ／Ｋ． ＣＭＯＳ 制了由 个横向多晶硅二极管组成的风速计结构，并实验测量了其风速和风向敏感特性 ８ ． 关键词：横向多晶硅二极管；风速计；风速；风向 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ３７９ Ａ １００１－０５０５２００２０４０５６９０３ ＣＭＯＳｃｏｍｐａｔｉｂｌｅｔｈｅｒｍａｌａｎｅｍｏｍｅｔｅｒ ｂａｓｅｄｏｎｌａｔｅｒａｌｌｙｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎｄｉｏｄｅｓ ＱｉｎＭｉｎｇ ＨｕａｎｇＱｉｎｇａｎ （ ， ， ， ） ＥｄｕｃａｔｉｏｎＭｉｎｉｓｔｒｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｉｃｒｏＥｌｃｅｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＮａｎｊｉｎｇ２１００９６ Ｃｈｉｎａ ： （ ） Ａｂｓｔｒａｃｔ ＡｎｅｗｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｔｈｅｒｍａｌａｎｅｍｏｍｅｔｅｒｂａｓｅｄｏｎｌａｔｅｒａｌｌｙｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎｄｉｏｄｅＬＰＤ ｈａｓｂｅｅｎ ， ｄｅｖｅｌｏｐｅｄ．ＴｈｅＬＰＤａｎｄｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓｅｎｓｉｎｇｅｌｅｍｅｎｔｓａｒｅｆａｂｒｉｃａｔｅｄｗｉｔｈｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎ ａｎｄｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｉｓ ｃｏｍｐａｔｉｂｌｅｗｉｔｈＣＭＯＳ．Ｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓｅｎｓｉｎｇｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｗａｓｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｄｒｅｓｕｌｔｓ ， ｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｆｏｒｗａｒｄｃｕｒｒｅｎｔｉｎｃｒｅａｓｅｓｗｉｔｈｔｅｍｐｅｒ