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基于横向多晶硅二极管的CmOS兼容热风速计-东南大学学报
第 卷第 期
32 4 东南大学学报(自然科 学版 ) Vol32No4
年 月
2002 7 ( ) July2002
JOURNALOFSOUTHEASTUNIVERSITY NaturalScienceEdition
基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计
秦 明 黄庆安
(东南大学微电子机械系统教育部重点实验室,南京 210096)
摘要:提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的 兼容热风速计 该风速计
CMOS .
的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造,工艺与 兼容 对横向多晶硅二极管的温度敏
CMOS .
感特性调查发现,其正向电流随温度增加几乎呈线性增加,显示该多晶硅二极管具有负的电压温度
系数 其值约为 ,非常接近单晶硅上 结的电压温度系数 采用 工艺试
. -1.8mV/K PN -2mV/K. CMOS
制了由 个横向多晶硅二极管组成的风速计结构,并实验测量了其风速和风向敏感特性
8 .
关键词:横向多晶硅二极管;风速计;风速;风向
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
TN379 A 1001-0505200204056903
CMOScompatiblethermalanemometer
basedonlaterallypolysilicondiodes
QinMing HuangQingan
( , , , )
EducationMinistryLaboratoryofMicroElcetroMechanicalSystemsSoutheastUniversityNanjing210096 China
: ( )
Abstract AnewmicromachinedthermalanemometerbasedonlaterallypolysilicondiodeLPD hasbeen
,
developed.TheLPDandtemperaturesensingelementsarefabricatedwithpolysilicon andtheprocessis
compatiblewithCMOS.Thetemperaturesensingcharacterizationwasinvestigated.Themeasuredresults
,
showthattheforwardcurrentincreaseswithtemper
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