基于横向多晶硅二极管的CmOS兼容热风速计-东南大学学报.PDF

基于横向多晶硅二极管的CmOS兼容热风速计-东南大学学报.PDF

  1. 1、本文档共3页,可阅读全部内容。
  2. 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
基于横向多晶硅二极管的CmOS兼容热风速计-东南大学学报

第 卷第 期 32 4 东南大学学报(自然科 学版 ) Vol32No4 年 月 2002 7 ( ) July2002 JOURNALOFSOUTHEASTUNIVERSITY NaturalScienceEdition  基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计 秦 明 黄庆安 (东南大学微电子机械系统教育部重点实验室,南京 210096) 摘要:提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的 兼容热风速计 该风速计 CMOS . 的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造,工艺与 兼容 对横向多晶硅二极管的温度敏 CMOS . 感特性调查发现,其正向电流随温度增加几乎呈线性增加,显示该多晶硅二极管具有负的电压温度 系数 其值约为 ,非常接近单晶硅上 结的电压温度系数 采用 工艺试 . -1.8mV/K PN -2mV/K. CMOS 制了由 个横向多晶硅二极管组成的风速计结构,并实验测量了其风速和风向敏感特性 8 . 关键词:横向多晶硅二极管;风速计;风速;风向 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TN379 A 1001-0505200204056903 CMOScompatiblethermalanemometer basedonlaterallypolysilicondiodes QinMing HuangQingan ( , , , ) EducationMinistryLaboratoryofMicroElcetroMechanicalSystemsSoutheastUniversityNanjing210096 China : ( ) Abstract AnewmicromachinedthermalanemometerbasedonlaterallypolysilicondiodeLPD hasbeen , developed.TheLPDandtemperaturesensingelementsarefabricatedwithpolysilicon andtheprocessis compatiblewithCMOS.Thetemperaturesensingcharacterizationwasinvestigated.Themeasuredresults , showthattheforwardcurrentincreaseswithtemper

您可能关注的文档

文档评论(0)

xiaozu + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档