基于砷化镓衬底的集成天线特性分析-易迪拓培训.PDF

电子工业专用设备 Eguipment for Electronic Products Manufacturing IC 制造与设备 基于砷化镓衬底的集成天线特性分析 ! 李井龙 韩振宇 中科院微电子研究所 北京 ! !#$# 介绍一种可以应用在系统集成 和芯片间通信方面的结构紧凑的平面天线 制造于 摘 要 ： !SOC # 砷化镓半绝缘衬底上的 字型印刷偶极子天线由一个微带 共面转换器馈电 同时也介绍了一 Z $ % 套测试天线特性的测试系统#测试结果表明进行芯片内部和芯片之间的无线互联是可行的% 偶极子天线 砷化镓 无线通信 关键词： $ $ 中图分类号：TN405.97 文献标识码 ：A 文章编号：1004-4507(2005)04-0039-04 Analysis of Integrated Antenna Character Based on GaAs Substrate LI Jing-iong ， HAN Zhen-yu (InStitute of MicroeiectronicS, The ChineSe Academy of ScienceS, Beijing 100029, China) Abstract: A compact and unipianar antenna iS preSented in thiS paper. The printed ZigZag dipoie anten- na iS fabricated on Semi-inSuiated GaAS SubStrate and fed by a microStrip-to-copianar Strip tranSition. A meaSurement Set -up waS deveioped for integrated antenna characteriZation. The meaSurementS SuggeSt that radio communication within and between ICS uSing antennaS may be feaSibie. Keywords: Dipoie antenna; GaAS; Radio communication 近年来微 电子技术 向着将 系统集成在一个 芯 由空间的波长为 10 cm ， 在砷化镰 内部 ， 由于高达 片 内部 （ SyStem on a chip, SOC ）的方 向发展 ，如 何 13 的介 电常数 ，电磁场 的波长为 28 mm 。 这意味着 整合基带部分和射频部分是设计者必须考虑 的 问 如果采用 四分之一波长 的偶极子天线 ，那么天线 的 题之一 ，其 中射频子系统 中天线所 占用 的晶片面积 长度只有 7 mm ，相 比于芯片的尺寸这小得多。 若进 太大成为限制 SOC 发展 的瓶颈 。随着大规模集成 电 一步提高频率到 20 GHZ ，天线在 晶片上所 占用 的面 路制造技术 的不断进步 ， 根据摩尔定律 ， 到 2007 积会更小。 这为利用天线进行芯片 内部和芯片之 间 （ 年 ，CMOS 工艺的特征