基于螺旋理论的转动解耦调平机构型综合-中国机械工程.PDF

基于螺旋理论的转动解耦调平机构型综合———蔡伟林 熊 涛 尹周平 暋 暋 暋 基于螺旋理论的转动解耦调平机构型综合 蔡伟林 熊 涛 尹周平 暋 暋 暋 , , 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室 武汉 430074 : 。 摘要 芯片与基板之间的平行度调节机构对倒装键合设备的成品率起着决定性作用 为研制该调 , , 平机构 基于螺旋理论分析了二自由度转动解耦机构的实现条件 综合出了一类含有 支链的转动解耦 3 。 , ; , 的并联机构 该类机构的支链 不含驱动副 由 个转动副组成 支链 和支链 各有 个驱动副 分 1 2 2 3 1 。 别驱动动平台绕支链 中的一根转动副轴线旋转 针对其中一种只含转动副和移动副的构型进行了自 1 , , 。 , 由度验算 选择了合适的输入运动副 并利用ADAMS完成了该机构的运动学仿真 研究结果表明 该 、 。 转动解耦的调平机构可应用于倒装键合设备 精密运动平台等多种场合 : ; ; ; 关键词 型综合 螺旋理论 调平机构 转动解耦 中图分类号: : / TH112暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2012.18.015 j T eSnthesisofaRotationalDecouledLevelin MechanismBasedonScrewTheor yp y p g y CaiWeilin暋Xion Tao暋YinZhouin g p g StateKe Laborator ofDiitalManufacturin EuimentandTechnolo , y y g g q p gy , , Huazhon UniversitofScienceandTechnolo Wuhan430074 g y gy : AbstractAlevelin mechanismforadustin the arallelismbetweenthechiandsubstrateisa g j