大功率GaN基发光二极管的电流扩展效应及电极结构优化-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 %$ ! # ! ， ， ， :H .%$ *H . ! P)I)QR # （ ） !G/#5J#J%$ ! J4$#G% 62K6 LMNDO26 DO*O26 !# 2@? . L@R= . DHC . 大功率!# 基发光二极管的电流扩展效应 及电极结构优化研究! 沈光地 张剑铭 邹德恕 徐 晨 顾晓玲 （北京工业大学北京市光电子技术实验室，北京 !## ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #$ % ! #$ ’ % 定性分析了()* 基+,- 的电流扩展效应，发现电流密度和电流横向扩展的有效长度对电流均匀扩展有很大影 响 基于此，对 基大功率 提出了优化的电极结构，以减缓电流拥挤效应，降低器件串联电阻 通过用红外热 . ()* +,- . 像仪测量器件表面的温度分布，发现具有优化的环形插指电极结构的()* 基大功率+,- 表面温度分布比较均匀， 证明芯片接触处电流扩展均匀，局部电流密度降低，减小了焦耳热的产生，增强了器件的可靠性. 关键词：氮化镓，发光二极管，电流扩展，电极结构优化 ： ， ， ， $% $#, $/’0 $’%1 $/’- 办法完全解决电流拥挤问题 另外一个解决方法是 . ［— ］ !7 引 言 优化电极几何形状$ 5 ，改变电流通道路径，减小横 向电阻 当然消除横向电阻最根本的办法就是利用 . ［ ， ］ 基蓝光 是一个电注入发光器件，电流 导电的 衬底! !! ，激光剥离（ ）和键合技 ()* +,- D?2 ?EFGHEE ［ ］ 扩展分布对于整个器件的特性有着很重要的作用， 术!# ，将蓝宝石衬底上的外延片键合到其他衬底如 影响器件有源区发光的均匀性，散热性能，可靠性等 ， 上，使得 电极和 电极位于器件上下两侧， 2I D? ; 特性. 目前，商品化的()* 基蓝、绿光+,- 一般都是 用892:- 技