华南理工大学电子能谱课件2012版-横9.pdf

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2017-08-14 发布于浙江
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华南理工大学电子能谱课件2012版-横9

内容表面分析方法： 1、X射线光电子能谱（XPS ）电子能谱分析方法一．X射线光电子能谱 2、俄歇电子能谱（AES ） 3 、紫外光电子能谱（UPS ）二．俄歇电子能谱 4、二次离子质谱（SIMS） 5、激光微探针质谱（LMMS ）叶建东 6、电子探针（EM ）材料学院 7、卢瑟福背散射（RBS ）一、原理光电子在向表面运动过程中与与其它原子上 X射线光电子能谱用单色X光照射样品，X-ray光子把全部能量交给的电子发生碰撞，能量损失，只有表面原子发射原子中某壳层上一个受束缚的电子。如果电子获得的（X-ray Photoelectron Spectrometry ）能量超过该电子的结合能，这个电子就会被激发，而的光电子能够克服表面势垒的能量而逸出。XPS