曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响-中国光学.PDF

第! 卷 第! 期 中国光学与应用光学 9-1: ! ;-: ! #$$% 年!# 月 ’()*+* ,-./)01 -2 345(6+ 0)7 8441(*7 345(6+ *6: #$$% 文章编号! !?A@=#!F（#$$% ）$!=$$FA=$F 曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响 ! # B B B B 徐福全 ，金 陆 ，李文昊 ，裴 舒 ，巴音贺希格 ，齐向东 （!: 内蒙古民族高等专科学校，内蒙古 呼和浩特$ !$$F!； # : 电子科技大学 微电子与固体电子学院，四川 成都?!$$F@ ； B: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 !B$$BB ） 摘要：波前像差是衍射光栅的重要技术指标，它直接影响光栅的分辨率。由光致刻蚀剂记录两束相干光干涉条纹是制 作全息光栅的关键步骤。为了提高全息光栅曝光系统调整精度、减小离焦、降低光栅的衍射波前像差，从离焦对反射球 面准直镜的准直光平行度的影响程度出发，分析了准直光平行度对全息光栅衍射波前像差的影响。理论分析和数值模 拟结果表明，准直镜调整误差直接决定全息光栅衍射波前像差大小。以B 种不同刻线密度光栅为例，得出了准直镜调整 误差的允许变化范围。 关 键 词：全息光栅；曝光系统；离焦；衍射波前 中图分类号： 3@B?: !；3@B%: # 文献标识码：8 #$%’#(’ )$ *’$)(+ )$ ’,-)+.’ +/+0’1 )# *2$$.3(02)# 435’ $.)#0 )$ -%3#’ 6)%)7.3-62( 7.302#7 GH I.=J.0)! ，,K; L.# ，LK M*)=’0-B ，NOK P’.B ，D0Q0)’*+’(RB ，SK G(0)R=7-)RB （!! ##$% ’#(’) *+,-’#+)-,. /’))$($ ，0’11’, $ !$$F!，/1-#+ ； #! /’))$($ ’2 -3%’$)$3,%’#-34 +#5 6’)-574,+,$ 8)$3,%’#-34 ，9#-:$%4-,. ’2 8)$3,%’#-3 63-$#3$ +#5 ;$31#’)’(. ，/1$#(5 ?!$$F@ ，/1-#+ ； B! /1+#(31# #4,-,,$ ’2 = ,-34 ，?-#$ $31+#-34 +#5 @1.4-34 ， /1-#$4$ A3+5$B. ’2 63-$#3$4 ，/1+#(31# !B$$BB ，/1-#+ ） 89+0.3(0 ：8+ -)* -2 5’* (T4-/50)5 5*6’)(601 +4*6(2(605(-)+ -2 7(22/065(-) R/05()R ，7(22/065(-) U0V* 2/-)5 0W*//0= 5(-) 7(/*651Q 022*65+ 5’* R/05()R /*+-1.5(-): X*6-/7()R 5’* ()5*/2*/*)6* 2/()R* 4/-7.6*7 2/-T 5U- 6-’*/*)5 1(R’5 W*0T+ WQ .+* -2 4’-5-/*+(+5 (+ 0 Y*Q 4/-6*++ () T0).2065./()R 0 ’-1-R/04’(6 R/05()R: 866-/7()R 5- 5’