EBSD技术课件.ppt

EBSD技术相关原理;主要内容;EBSD简介;基于扫描电镜（SEM）中电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析从而确定晶体结构、取向及相关信息的方法。 EBSD改变了以往织构分析的方法（X-ray衍射仪法）,并形成了全新的科学领域,称为“显微织构”———将显微组织和晶体学分析相结合。;EBSD系统组成;;;;工作原理;电子束轰击至样品表面 电子撞击晶体中原子产生散射，这些散射电子由于撞击的晶面类型(指数、原子密度)不同在某些特定角度产生衍射效应，在空间产生衍射圆锥。几乎所有晶面都会形成各自的衍射圆锥，并向空间无限发散 用荧光屏平面去截取这样一个个无限发散的衍射圆锥，就得到了一系列的菊池带。而截取菊池带的数量和宽度，与荧光屏大小和荧光屏距样品(衍射源)的远近有关 荧光屏获取的电子信号被后面的高灵敏度CCD相机采集转换并显示出来 ;;菊池带产生原理;原理;不同晶体取向对应不同的菊池花样;取向标定;;;完整标定过程;;样品制备;样品要求;测定时易出现的问题;注意事项;操作过程;;EBSD技术特点;与其他方法的对比;;