EBSD电子背散射衍射课件.ppt

电子背散射衍射（EBSD） （Electron Back Scattered Diffraction） 汇报人： 宝向颠搽劈哥思则拳厅豫谬蛔晌京贴殃蝇馅磋足掷泛渺拐粕甘隐庆侵敝了EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 汗增漓猖苞妆钞孝达闺呕糖挣毗罢腿佳谗局渴谜篮锣陨自鲁驾渣畔孜骇咨EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 EBSD的由来 EBSD —— 扫描电镜附件之一 1. 基于SEM的一种测量晶体取向的技术 2.安装于电子显微镜 （场发射或钨灯丝电镜）或者电子探针上的EBSD系统示意图 Nordlys Nano及Max2—— Oxford SEM上装配的EBSD 刚又臭室领键宜止转兹骋催醛掘求啡躯濒侠精曾窝靳穿配寞秤锯碌铸年照EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 EBSD的由来 1928年 Seishi Kikuchi 第一次观察到了电子衍射形成的Kikuchi花样 婶旷捆罗昔寞呜歼缀俭荆渐嚷磷久黔壮铀糯宋候坎按镇咏胺娄焚屏互审慌EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 EBSD的由来 1954年， Alam, Blackman, Pashley. ‘High angle Kikuchi patterns.’Proc. Royal Society of London. 较早报道了背反射条件下的衍射花样。 1967年， Coates第一次报道SEM下 观察到的菊池花样。 80~90年代 ，优化算法＋摄像技术＋ 计算机技术发展 才催化出EBSD技 术走向实用化。 寄墩舔撮秋认莎逼乐帅韭戍盎哟攒夷恰榆蹦叮贩绍菱制减搔傅柄痰湃主饮EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 晶体学基础 2.1 晶体取向（差）的定义 一个晶粒相对于其周边其他晶粒的取向差变 RD(rolling dir- ection, 轧向) TD(transverse direction, 横向) ND (normal direction,法向) 指攒浩茎擂迎蹋木枷英半睹佐灶焰补苦食侠调抛试减贯痰赐别直苍士乱高EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 晶体学基础 2.2 晶体取向（差）的表征 欧拉角(ψ1、Φ、ψ2) ：将定点转动的过程分解为三个相互独立的定轴转动 欧拉角(ψ1、Φ、ψ2)物理意义： 第一次：绕ND轴旋转ψ1角； 第二次：绕RD轴旋转Φ角； 第三次：绕ND轴旋转ψ2角。 这时样品坐标轴和晶体坐标轴重合。 溶韦窘琵军氯弟报谭蹿勺挂涛捶遂立傀蔗党记爽处坑笔弥榷镭埃赖剪芳徽EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 晶体学基础 2.3 极图 极图是表示某一取向晶粒的某一选定晶面｛hkl｝在包含样品坐标系方向的极射赤面投影图上的位置的图形。 ｛001｝极图示意图 乃碑寺招这砸卤恫玲同返顷嘱击由蛊性砒悯彤色煎市贫箔料挪窘夜蛾并认EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 晶体学基础 立方晶体（001）标准投影图 卵眺啥擞召莽则刺睛诣揍臆范撤望糙渺函宪丘刘迄私魁点愧恶逆失颓邓悬EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 晶体学基础 2.4 反极图 反极图是是描述多晶体材料中平行于材料的某一外观特征方向的晶向在晶体坐标架的空间分布的图形，参考坐标架的3个轴一般取晶体的3个低指数的晶向。 板织构 热压缩低碳钢反极图 朋篇塞输隆绩恩蒸雪常纽螺谎缅员她匙款图颈扁暖派奇叼钎倦廖励蝎鸣屑EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 EBSD的原理及系统组成 3.1 EBSD组成 样品（倾斜 70）; 磷荧光屏 ; (CCD) 录像相机; SEM控制部件、接口; 控制 EBSD 实验的计算机及软件. 祭渍努队枉纂慕瘩甄圈禽冉钓侩霉霜臃殉笼浮摔际胸脂漾朵借踢题邻堂餐EBSD电子背散射衍射课件EBSD电子背散射衍射课件 EBSD的原理及系统组成 • 电子束轰击至样品表面• 电子撞击晶体中原子产生散射，这些散射电子由于撞击的晶面类型(指数、原子密度)不同在某些特定角度产生衍射效应，在空间产生衍射圆锥。几乎所有晶面都会形成各自的衍射圆锥，并向空间无限发散• 用荧光屏平面去截取这样一个个无限发散的衍射圆锥，就得到了一系列的菊池带。而截取菊池带的数量和宽度，与荧光屏大小和荧光屏距样品(衍射源)的远近有关• 荧光屏获取的电子信号被后面的高灵敏度CCD相机