依据规范书所载明之各废气风管数量尺寸与材质进行验收.DOC

國家奈米元件實驗室 10000級潔淨室之廠務廢氣配管 招標規範書 目錄 頁次 一、 說明 二、 採購標的規範及數量 三、 未來擴充情形 四、 履約期限 五、 驗收標準 六、 保固 說明 本規範適用於國家奈米元件實驗室奈米10000級潔淨室之廠務廢氣配管規範，如有任何疑慮依業主解釋為準。 採購標的規範及數量 一般排氣4組(pump熱排至一般排氣主管) 使用端接頭NW40。 材質：SUS304螺旋風管。 管徑：主管150mm支管100mm。 pump熱排上方風門一組。 支管與pump需以軟管銜接，軟管需為SUS304材質。 軟管長度500 mm。 Pump出口需設置門型架固定，管路不得搖晃。 一般排氣1組(pump出口至一般排氣主管) 使用端接頭NW50。 材質：SUS304螺旋風管。 管徑：主管150mm支管100mm。 Pump出口上方風門一組。 支管與pump需以軟管銜接，軟管需為SUS304材質。 軟管長度500 mm。 Pump出口需設置門型架固定，管路不得搖晃。 一般排氣1組(Gas box至一般排氣主管) 使用端接頭NW50。 材質：SUS304螺旋風管。 管徑：主管150mm支管100mm。 Gas box出口上方風門一組。 一般排氣1組(PM exhaust至一般排氣主管) 使用端接頭NW50。 材質：SUS304螺旋風管。 管徑：主管150mm支管100mm。 Gas box出口上方風門一組。 NW50接頭後銜接PVC軟管，軟管最末端需接一組PVC2”球閥。 管徑： NW50。 長度4m。 一般排氣1組(Local Scrubber至一般排氣主管) 材質：SUS304螺旋風管。 管徑：主管150mm支管100mm。 Local Scrubbe出口上方風門一組。 製程排氣3組(pump出口至製程排氣主管) 使用端接頭NW50。 材質：SUS304 。 管徑：2” 。 pump出口端各含球閥一組(球閥：已3片式大流量；球閥材質SUS316) 。 製程管路與pump及Local Scrubber銜接需加裝軟管，軟管需為 SUS304材質。 軟管長度200 mm。 Pump出口至Local Scrubber端管路需以高架方式配置。 高度至少2.5m以上。 Pump出口需設置門型架固定，管路不得搖晃。 製程排氣管路有高溫可能(25~110℃)各接頭使用O Ring需可承受。 製程排氣管路配管方式：以手銬夾可拆式銜接。 製程排氣1組(Local Scrubber出口至製程排氣主管) 管徑：主管100mm支管100mm 材質：” 。 材質：SUS304 。 管徑：支管1” 。 排水管路1組(Local Scrubber排水端配至一般廢水管路) Local Scrubber排水端配至一般廢水管路銜接。 管徑：1~11/2” 。 材質：PVC Ssh80。 原有一般廢水及氫氟酸廢水管路需設置保護蓋。 機台擺放位置與風管主管垂直相關位置、穿牆與樓板部分即施工難度，請參予投標廠商務必進行現場丈量與評估。 各類排氣管路須有足夠支撐架，在本實驗室各風車馬達60Hz運轉下或真空幫浦運轉下不得晃動或有異音。 每日施工完畢後需清理工作區域，並恢復原狀。 未來擴充情形 無 履約期限 本實驗室通知日起30個日曆天(所有假日皆計入)內完工。 驗收標準 依據規範書所載明之各廢氣風管數量、尺寸與材質進行驗收。 附前後施工照片。 保固 所有施工部分保固一年 附圖 家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 案號：207 頁 數 PAGE: 7 OF 7 購案名稱： 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES.