准分子激光脉冲能量探测器的设计及性能测试.pdf

第42卷 第1期 中 国 激 光 Vol.42,No. 1 2015年1月 CHINESEJOURNALOFLASERS January,2015 准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试 1,2 1,2 1 1,2 谢承科 陈 明 杨宝喜 黄惠杰 1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800 2 中国科学院大学,北京100049 摘要 在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中，为了精确控制曝光剂量，需要用能量探测器实时、精确地 监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤光片、光电探测器和信号处理电路组 成的准分子激光脉冲能量探测器；提出采用二阶有源低通滤波电路对窄脉冲信号进行整形处理以降低后续信号处 理的难度；搭建测试装置对所研制的能量探测器进行了性能测试。测试结果表明，能量探测器输出的脉冲信号时 间参数的实测值与设计值的相对误差约为3%，且其响应时间满足4 kHz高重频的应用要求；采用双光束比对法消 除准分子激光单个脉冲能量波动对测试结果的影响，得到能量探测器的测量重复性为0.26%，在入射光束脉冲能量 2 为0.1~1 μJ 的动态范围内具有良好线性，其线性拟合方程为 V=0.59841E-0.01508，相应的线性相关系数R = 99.976%。测试结果证明二阶有源低通滤波电路可以实现窄脉冲信号整形；设计的能量探测器具有良好的重复性 和线性，可用于光刻机中高重频准分子激光单个脉冲能量的精确测量。 关键词 探测器;准分子激光;脉冲整形;重复性;线性度 中图分类号 TN247;TN248.2;TN721.5 文献标识码 A doi: 10.3788/CJL201542.0102006 DevelopmentandPerformanceTestingofPulsedExcimerLaser EnergyDetector 1,2 1,2 1 1,2 XieChengke ChenMing YangBaoxi HuangHuijie 1ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics,ChineseAcademyofSciences,Shanghai 201800,China 2UniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing 100049,China Abstract Instepandscanlithographictoolswhoselasersourcesareexcimerlasers,anenergydetectoris neededtomonitorexcimerlaserpulseenergyinreal-timeandaccuratelysoastorealizepreciseexposure dosecontrol.Anenergydetector,whichiscomp