基于MAX1452的压力传感器温度补偿.pdf

·工业控制 · 《电气应用》 年第 卷第 期 ’))* ’ % ############################################################### 基于!#$%’的压力传感器温度补偿 赵 妍 刘志珍 （山东大学电气工程学院 ） !##$% 摘 要 传感器精度是影响电 气比例调压阀性能的重要因素。以硅压阻式传感器为例，介 绍传感器存在的温度误差，着重阐述采用 补偿其温度误差的原理，并系统介绍温度补 ’()%*! 偿的操作流程和校正系数的选择计算，通过实例分析验证压阻传感器经 补偿后，其温 ’()%*! 度误差可明显降低。 关键词 比例调压阀 压阻式传感器 ’()%*! 温度补偿 ，使满量程系数为正，如图 所示， ! ! !! ! % $ 引言 10 12 然后再利用外接信 号调理器进一步补偿。 % 电 气比例调压阀是用输入电信号控制输出压 力信号的气动元件。通常在设计时，为了提高调压 稳定性，会借助压力传感器将输出压力值反馈回电 控制器，形成一闭环控制回路。因此，压力传感器 精度是影响电 气比例调压阀性能的重要因素。在 实际应用中，大多数压力传感器为集成单臂电桥方 式、差分输出信号的压阻式传感器，此类传感器具 图 温度误差示意图 % 有灵敏度高、线性度和稳定性好的优点，但同时由 于其扩散电阻的温度系数较大和制作工艺限制，存 补偿原理 ( !#$%’ 在温度漂移问题，限制了它在宽温区的高精度。目 主要设计用于硅压阻式压力传感器， ’()%*! 前，传感器温度补偿的方法有基于运算放大器、仪 它内含 个 位 、 的内部 ! ， * %$ 3(1 4$56 7829’ 表放大器及集成一体化的传感器信号调理器等集成 一个温度传感器以及用于桥传感器温度补偿和线性 ［］ 电路% 。鉴于电 气比例调压阀要求工作温度范