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等离子体处理条件对聚酰亚胺薄膜表面处理效果的影响 - 表面技术
郑朝銮等 等离子体处理条件对聚酰亚胺薄膜表面处理效果的影响
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等离子体处理条件对聚酰亚胺薄膜表面处理效果的影响
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郑朝銮 沈丽
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1.重庆发始特化工有限公司 重庆 408000 2.东华大学 化学化工与生物工程学院 上海 201620
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摘 要 采用氧气等离子体对聚酰亚胺薄膜进行表面处理 系统研究了等离子体处理时间 压强和功率对
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处理效果的影响 并对比了空气 氮气 氧气和氩气几种处理气氛的处理效果 得出了最佳处理条件 分析表明
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聚酰亚胺薄膜经氧气等离子体处理后 表面引入了含氧极性基团 有明显的刻蚀现象 使得其亲水性增强 与铜箔
复合的剥离强度提高。
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关键词 氧气 等离子体处理 聚酰亚胺薄膜 润湿性 剥离强度
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[中图分类号] ; [文献标识码] [文章编号] ( )
TQ323.7 TB43暋 暋 暋 A暋 暋 暋 1001灢3660201203灢0090灢04
TheEffectofDifferentPlasmaTreatmentConditions
ontheSurfaceProertiesofPolimideFilm
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ZHENGChao灢luan SHENLi
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1.Chon in FirstChemicalCo. Ltd. Chon in 408000 China 2.ColleeofChemistr
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ChemicalEnineerin andBiotechnolo DonhuaUniversit Shanhai201620 China
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Abstract暋 Surfacetreatmentsofolimide PIfilmwerecarriedoutwithox en lasma.Theeffectoflasma
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