某彩色滤光片厂的洁净室内 挥发性有机气体浓度分.pdf

█ 論著與譯文 █ 某彩色濾光片廠的潔淨室內 揮發性有機氣體濃度分佈研究 吳文定、蔡春進 【摘 要】彩色濾光片（Color Filter, CF ）於製程中大量使用揮發性有機溶 劑，在機台運轉過程與預防保養作業（Preventive Maintenance, PM ）中，因設備局部排氣系統捕集揮發性有機氣體效率不佳，及 PM 人員不良工作習慣，均會導致揮發性有機氣體逸散至潔淨室作 業場所環境中，造成勞工健康之危害。 本研究主要目的是為了瞭解 CF 製造廠潔淨室環境空氣中揮發性 有機氣體物種及其分佈濃度狀況，透過採樣分析結果比對其是否 符合我國勞安法令現行的作業環境容許濃度標準及 SEMI S2 的建 議標準。本研究方法依 CF 製造廠使用有機溶劑區域規劃出 10 個 「不鏽鋼採樣筒採樣之氣相層析質譜儀分析」，偵測鑑別出揮發性 有機氣體物種及濃度。 本研究經 GC-MS 分析結果發現 CF 製造廠潔淨室環境空氣中主要 揮發性有機氣體物種為環己酮、丙酮、PGMEA 、PGME 及異丙醇 等，而所測得濃度皆小於容許濃度標準。然而環己酮除 Phase2-Cr BM （0.14ppm ）及PS/OC （0.17ppm ）區域符合SEMI S2 1%職 業暴露限值（Occupational Exposure Limit, OEL ）建議標準外， 其餘採樣點均超出建議值。而 Phase1 -Cr BM 及機台下方 SUB 區域所測得 PGMEA 分別為 1.59 ppm 與 2.23ppm 其超出 SEMI S2 建議的 1 ppm 。至於其他污染物的濃度，都均遠低於SEMI S2 的建議標準。 【關鍵字】彩色濾光片、揮發性有機氣體、SEMI S2 、職業暴露限值 2007. 10 / 工業安全衛生月刊 23 低勞工作業場所暴露揮發性有機物之 壹、前言 危害，使得員工在安全無虞環境下作 彩色濾光片（Color Filter, CF ）製 業，全力投入生產提升產品品質與良 程 有 鉻 玻 璃 濺 鍍 製 程 、 黑 色 矩 陣 率以求達到產業競爭力。 （Black Matrix ）、塗佈（Coating ）、曝 一、研究目的 光（Exposure ）、顯影（Developer ）、 本研究之目的為提供既有與新建 光阻剝離（Stripping ），硬烤（Post-bake ） 中的彩色濾光片廠作業場所職業安全 ITO 導電層濺鍍（Sputtering ） 衛生改善措施與管理之參考評估依 等[1] ，其中黃光製程中光阻塗佈所使 據。本研究目的為: 用大量光阻劑及為提昇製程良率與產 1. 透 過 潔 淨 室 內 的 區 域 量 測 （ area 品品質，均會安排如每週、月、季、