溅射沉积技术的发展及其现状.pdf

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溅射沉积技术的发展及其现状

真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 卷 第 期 P %M ( ) 年 、月 VWIX8N0 WY ZN[IIH G[\T8[T N8D KT[78W0W]( [7\8N %%P P $ !!!!! 综述评论 ! !!!! 溅射沉积技术的发展及其现状 , ! ! ! ! ! 杨文茂 刘艳文 徐禄祥 冷永祥 黄 楠# !# 西南交通大学材料学院生物材料及表面工程研究所 成都 $!%%!; ( # 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 绵阳 $!’%% ) !#$% ’ ($)* +,%-. /0 123--,$45 67.4)50 , ! ! ! ! ! # , , , ()*+ ,-*.)/ 012 ()*3-* 42 0251)*+ 0-*+ (/*+51)*+ )*6 72)*+ 8)* ( , , , , ; !# !# $%’ ( )*+#,-*’. $%-#/%# 0 1/2-/##,-/2 $3+4#.+ 5-*+/2 6/-7#,.-+8 9#/2:3 $!%%! 9-/* , , , , ) # ;/.+-+3+# ( )*%-/#,8 )*/3( *%+3,-/2 !#%/’28 91= )-*/8*/2 $!’%% 9-/* 8/9-,:7- 719:/; )*6 :=- ):-9: ?;/?;-99 1* @1. 6-?/91:1/* A .)+*-:;/* 9?2::-;1*+ 3)9 :-*:):1B- ;-B1-3-6 C D19E2991/* 3)9 @/E29-6 /* , , , 6-91+* )*6 -B)2):1/* /@ :=- .)+*-:1E @1-6 619:;1A2:1/* B);1/29 :?-9 /@ ?/3-; 92?? .2:1F:);+-: ?/91:1/*1*+ @1. +;/3:= E/*61:1/*9 )*6 1*629F :;1) )??1E):1/*9 /@ :=- :-E=*//+ C , , , ;0%,9 G?2::-;1*+ 6-?/91:1/* H)+*-:;/* 9?2::-;1*+ I*A))*E-6 .)+*-:;/* 9?2::-;1*+ J29-6 9?2::-;1*+ 摘要 论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用

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