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溅射沉积技术的发展及其现状
真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 卷 第 期
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综述评论
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杨文茂 刘艳文 徐禄祥 冷永祥 黄 楠#
!# 西南交通大学材料学院生物材料及表面工程研究所 成都 $!%%!;
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摘要 论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用
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