馈补偿法提高XY工作台定位精度的研究.pdf

Y zuu4 SCIENCEANDTEcHNOLOG V盎；3‰：J“Jy 篓，篙薯薯，≯2004年7月 MECHANICALMEcHAN。c跫翌羔差絮蒜森cHNoLoGY 文章编号：1003—8728(2004)07一0805_04 滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X—y工作台 定位精度的研究 袭著燕，路长厚，郭 涛，张建川 (山东大学机械工程学院，济南250061) 袭著燕 摘 要：在详细论述了激光多普勒测量仪的原理及测量方法后，对滚珠丝杠螺距误差的情况进行了分析，通过软硬 结合的方法对重复定位误差和螺距误差的补偿进行了研究，并且通过实验验证了方法的有效性。 关键词：量l，工作台；激光多普勒测量仪；螺距误差；定位精度 中图分类号：THl33 文献标识码：A on MethodofLead．ScrewError fbr X-yTablePosition Researchthe ImproVing Accuracy Compensation XI Tao，ZHANGJian—chuan Zhu—v8n，LUChang．hou，GUO ofMechanical 250061) (School UniVersity，Jinan Engineering，Shandong of ofthediscussionofthe andmeasurementmethod thebasis LDDM，thispaper Abstract：On principle thesourcesofthelead—screwerror． of errorandlead·screwerror analvses Compensationrepetitiveposition verifiesefkctivenessofthe theso{twareandhardware andthe the is bv method， investigated experiment method． Measurement)；Lead—screwerror；Position Keywords：x．yTable；LDDM(LaserDoppIerDisplacement aCCUraCV 随着高精密加工技术的不断发展，人们对机床的加工 使用的增加会发生磨损，从而使得误差曲线发生变化，对于 精度提出了越来越高的要求。如何方便实用地提高机床的 硬件