多晶硅铸锭炉操作维护说明书修改版最终版7-14.docx

多晶硅铸锭炉操作维护手册无锡开日能源科技股份有限公司2011年3月前言本说明书是指导用户如何使用和维护多晶硅铸锭设备的重要资料，用户在使用多晶硅铸锭设备前一定要仔细阅读本说明书，并充分理解，以便使设备能够正常生产，同时提供了如何避免意外以及预计会产生的故障并提前解决的方法。在自动运行模式下，操作屏有密码保护，需要授权的操作工程师才能进入，可以干预或修改参数。高级参数的设定见附录。本说明书包含如下内容：安全措施及设备规格；设备概述；设备操作；设备维护；常见故障处理措施。无锡开日多晶硅铸锭炉概貌目录1．安全31.1安全符号及说明31.2安全保护措施32．设备规格32.1设备的平面图32.2 设备接口规格要求33．设备概述33.1 操作原理33.2 系统构成34. 操作界面34.1 报警页34.2 主视图34.3 曲线趋势图34.4 历史数据库查询34.5 模式页34.6 主参数和系统配置页34.6 .1主参数页134.6.2 主参数页234.6.3 主参数页3—水温报警及加热报警参数设置34.6.4 系统配置窗口34.6.5 主参数温度-压力PID分区参数配置表34.6.7 慢抽程序参数设置窗口34.7手动操作34.7.1 热偶仓检漏34.8手动维护屏幕34.9 运行干预操作34.10 初始检查窗口屏幕34.11 配方屏幕34.12 隔热层手动升降屏幕34.13主加热参数屏幕34.14 手动下腔室升降窗口35. 炉子的具体操作35.1 概述35.2 打开下腔室35.3 取出长晶结束后的硅锭35.4 进料过程35.5 选择运行的配方及下载35.6 自动运行初始检查屏35.7 自动循环过程36. 设备维护36.1 设备保养36.2 常见故障及排除36.3 备品备件、易损件清单37. 常见故障处理措施37.1 电源停电/缺相故障处理措施37.2 断水故障处理措施37.3 硅溢流报警处理措施37.4 三相电流不平衡报警处理措施31．安全1.1安全符号及说明本设备安全符号等级分为四种，分别为危险、警告、小心、注意，详细定义见表1.1。表1.1 设备安全符号定义危险表示存在严重的危险性，如不避免将会导致人身死亡或严重的伤害，只有设备维护工程师才能进行维护操作。警告表示存在潜在的危险性，如不避免将会导致严重的人身伤害，只有充分了解警告信息后才能进行操作。小心表示存在一定的危险性，如不避免可能会导致的设备损坏或数据丢失，同时可能会对人身造成伤害。注意表示重要的相关信息，并提供操作建议。1.2安全保护措施任何人操作、打开或维修设备时都必须遵守安全预防措施。操作工和维修人员必须遵守本手册里的所有安全说明。1.2.1设备危险说明注意：设备危险包括多个压力点，高压和装卸期间暴露在外很热的接线端子，有安全内锁装置和危险警告符号以保护操作工。警告：不要触碰没有保护围栏的设备。警告：不要企图忽略任何安全内锁装置。当门和安全护栏没有处于正确位置时，这些内锁装置能避免自动操作。表1.2 安全预防措施说明1.2.2高压保护措施仔细阅读这些指南能避免遭到潜在和致命的电击危险，能防止设备遭受意外损害。尤其需要强调的是，在急停情况下，不要单独一个人工作，必须协同另外的操作工一起工作。当你在周围有通电导线的场所或者有高压设备的地方工作时，你的一只手必须插在口袋里。穿上橡胶底的鞋子或者运动鞋，绝缘地板比金属地板或者裸露的水泥地面绝缘性好，但这是由实际情况决定的（不在你的控制范围内）。一块橡胶垫是很好的绝缘体，但是一块毯子无论多厚都不是很好的绝缘体。戴上防护眼镜，有较大的塑料透镜的眼镜或者护目镜。不要带任何珠宝或者其他饰品以防意外地接触电路和接通导体电流，或者卡进旋转部件里。绝不能没有事先检查就自己猜想任何事情！不能企图走捷径！1.2.3压缩空气的保护措施突然的强大气压或者飞溅碎片会损伤眼镜或者耳膜；压缩空气携带而出的飞溅颗粒能损伤操作人员或者损坏设备；维护人员必须懂得如何正确使用压缩空气的方法；当更换附属装置或者不用压缩空气时必须断开压缩空气系统。1.2.4锁定装置在维护、检修、操作和相关的活动期间，应该保护人员不受意外接通/启动设备或者释放存储的能量而引起的伤害。注意：当维护、维修、操作定向凝固系统和执行其他的相关动作时，用户必须提供相应的锁定装置能保证潜在的危险状态下几乎不需要人员作任何动作，利用锁定能量隔离装置就可以消除危险。如果没有锁定装置，就必须断开设备以避免意外地接通电源或者释放存储的能量。在设备上贴有一个显著的警告标志，以便警告人员不要操作已经断开能量的设备。用户代表必须明白锁定功能的所有知识且保证所有员工都理解锁定过程，都能正确地执行锁定操作。用户应该定期检查能量控制程序（至少每年一次）以保证正确地遵守控制过程和定期进行检查。操作员工应该掌握锁定的所