太阳能工艺基础报告.pptx

太阳能电池工艺基础报告;1、太阳能电池简介 太阳能电池是一种对光有响应并能将光能转换成电力的器件。 太阳能电池，又叫光生伏打电池，它是以半导体材料为基础的一种具有能量转换功能的半导体器件，是太阳能光伏发电的最核心的器件。 晶体硅电池分为单晶硅、多晶硅两种。;2.太阳能电池生产工艺流程 ;3.制作工序 （1）硅片清洗制绒: 表面处理：清除表面油污和金属杂质； 去除硅片表面的切割损坏层； 在硅片表面制作绒面，形成减反射织构，降低表面反射率；利用Si在稀NaOH溶液中的各向异性腐蚀，在硅片表面形成3-6 微米的金字塔结构，这样光照在硅片表面便会经过多次反射和折射，增加了对光的吸收； ;（2）扩散/制结： 　　硅片的单/双面液态源磷扩散，制作N型发射极区，以形成光电转换的基本结构：PN结。 　　POCl3 液态分子在N2 载气的携??下进入炉管，在高温下经过一系列化学反应磷原子被置换，并扩散进入硅片表面，激活形成N型掺杂，与P型衬底形成PN结。主要的化学反应式如下： ?POCl3 + O2 → P2O5 + Cl2； P2O5 + Si → SiO2 + P ;（3）等离子刻边 去除扩散后硅片周边形成的短路环 （4）去除磷硅玻璃 　　去除硅片表面氧化层及扩散时形成的磷硅玻璃（磷硅玻璃是指掺有P2O5的SiO2层） （5）PECVD 　　渡减反射膜+钝化： 　　PECVD即等离子体增强化学气相淀积设备，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition； 制作减少硅片表面反射的SiN 薄膜 ;（6）丝网印刷 　　用丝网印刷的方法，完成背场、背电极、正栅线电极的制作，以便引出产生的光生电流； 　　工艺原理：给硅片表面印刷一定图形的银浆或铝浆，通过烧结后形成欧姆接触，使电流有效输出 （7）烘干和烧结 在正面形成银硅合金，形成良好的接触和遮光率 （8）检验和分级 用自动分选机将电池按转化率分级、检验并包装