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尚德-硅片检验质量控制
硅片检验质量控制
质量部：宋纯瑶
目录
1、硅片检验流程
2、不良品图例
3、原材料投诉流程
4、赔偿机制
1、硅片检验流程
3
全检 包装 有明显破损通知供应商
１单晶＜２us ,多晶＜5us退货
２如果７０％＞３０us接受
300片抽一片１片， 超 ３如果９０﹪＞５us接受
过300片抽2片 少子寿命 ４如果不满足２. ３.的条件低于标准的
做退货
全检 碎片，缺角，崩边，污渍，台阶，穿孔 退片
裂纹，划伤，无倒角
边长
１００片每盒的抽１片 对角线
３００片每盒的抽３片 厚度 如果不良硅片被检出，则再抽5片
ＴＴＶ 如果再发现不良则整盒拒收
直角
弯曲
１００片每盒的抽１片
３００片每盒的抽３片 电阻率，晶型 如果OOS硅片被检出，则再抽5片
如果在抽样中则整盒拒收
1-1少子寿命测试
4
抽样 我司采用的少子寿命测试方法：碘酒钝化的方法。
插片 使用设备:SemilabW-1000b(见下图）
微波光电导衰减法（μPCD法），其原理是904nm
清洗、制绒 的激光注入硅片大约30 μm ，产生电子- 空穴对，
装袋 导致电导率的增加，当撤去外界光注入时，电导
率随时间指数衰减，这一趋势间接反映少数载流
加碘酒 子的衰减趋势，从而通过微波探测电导率随时间
变化的趋势就可以得到少数载流子的寿命。
测试
清洗
甩干
1-2尺寸测量
5
边长 对角线
1-3 TV / TTV测试
6
五点法测试：
边缘4个、中心点1个，
探头直径为14mm，
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