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开关机流程
工艺设备部 C2 A班 杨千福日期：2011 年9月6日 tempress开关机流程 开机流程 1 关机流程 2 开机流程 1 1.开启控制电源UPS 2.打开UPS电源，需按电源键两秒钟，等待ups指示灯显示正常。 电源键 3.将UPS开关打开，ups灯亮后，点击绿色start按钮。 Ups开关 Start开关 4.将主电源开关由OFF打到ON 5.打开主电源后，将四个control开关打开，打开后选则合适的工艺待机，再将加热开关打开。 Control开关 加热开关 6.开启所有关闭的气体开关。打开磷源和恒温箱，N2为40，压缩空气80。 关机流程 2 1.降温 确定炉管内部没有舟，选择10号test工艺，修改温度指令，降到指定温度后，关闭加热开关。（可直接关闭加热开关降温） 2.关闭加热开关和控制开关 先关闭加热开关后再关闭控制开关。 3.关闭主电源 主电源 4.点击红色stop按钮后，将UPS开关打到OFF Stop按钮 5.如果关闭时间比较长，需要关闭磷源和气体阀门。 6.关闭N2、O2和压缩空气机台开关 N2机台开关 O2机台开关 压缩空气开关
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