无rf波和有波情况下硼峰的演变-east.ppt

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真空晨报年月日白班胡建生晚班李高云王硼化壁处理准备感应烘烤应纵场要求待纵场降到在开始感应烘烤停感应烘烤开始开所有泵阀抽气分钟参数同上抽气分钟开所有泵阀抽气关所有相关阀门开始硼化转入电源故障停清洗停充气日等离子体放电间及感应烘烤全谱分析第一次清洗的连续谱和其后全谱分析第二次清洗的连续谱和其后全谱分析初始硼化时各峰演变硼化中各峰演变不同时间段的全谱分析同一时间段内无波和有波情况下硼峰的演变有月日月日氧峰油峰水峰壁温时间

* 真空晨报 2005年4月21日(白班:胡建生 晚班:李高云 王 ) 硼化壁处理 8:30 准备感应烘烤,应纵场要求,待纵场降到1700A在开始. 9:20 感应烘烤 10:50停感应烘烤 10:50开始Rf cleaning 15kW,5E-2Pa,30MHz, 0.3s on/1s off 11:25 开所有泵阀抽气10分钟 11:40-12:10 RF cleaning 参数同上,抽气10分钟; 12:10-12:35 开所有泵阀抽气 12:35 关所有相关阀门 12:40 开始硼化; 15:15 转入He RF cleaning 15:35 RF电源故障,停清洗,停充气. 21日等离子体放电间及感应烘烤全谱分析 第一次RF清洗的连续谱和其后全谱分析 第二次RF清洗的连续谱和其后全谱分析 初始硼化时各峰演变 硼化中各峰演变 不同时间段的全谱分析 同一时间段内,无RF波和有波情况下硼峰的演变。 有RF 1.3E-7 3.3E-6 6.5E-6 70-165 4月 21日8:11 72--120 4月 22日 氧峰 油峰 水峰 壁温 时间 *

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