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CT-W尾气处理资料-上海驰舰半导体科技有限公司
centrotherm
clean solutions
CT - W
environmental technology
半导体行业高效率系统
湿法尾气处理在不同的CVD和蚀刻工艺废气排放处理方面非常有效，Centrotherm
湿法尾气处理较常见的尾气处理设备有很大的优势：CT-W的特色是可以减少废气中
99%的灰尘颗粒，吸附灰尘颗粒，并排出废水。
CT-W可以作为一个独立的装置进行安装；在燃烧水洗系统CT-BW2009中，也
可作为附件模块。CT-W湿法洗涤器可以独立的工作，也可以嵌入CT-BW。比如，
根据欧标由于强酸或灰尘，额外的湿法阶段，是非常必要的。当我们使用CT-BW时,
灰尘的减少和酸气的吸附率超过99.0%。
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N
2
• 清洗效率高达99.99%
• 减少灰尘高达99%，没有麻烦的干法除尘处理
• 成本非常低
• 全自动
• 最高运行时间大于99%
• 综合过程和系统监控
• 可同时操作出来4个进气口
• 旁路阀（选配）
• 废气流量高达3,000SLM,有3种不同的洗涤塔可供选择
• SEMI S2/CE 和 NFPA79 认证:2002获批准
CT - W Wet Scrubber
1,000 mm x 800 mm x 1,900 mm
[39.4 inch x 31.5 inch x 74.8 inch]
up to 500 slm, 1,000 slm and 3,000 slm
30 liters, 50 liters and 80 liters
[7.9 gallons / 13.2 gallons / 21.1 gallons]
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