光学薄膜技术复习提纲难点.doc

光学薄膜技术复习提纲 一、典型膜系 ㈠ 减反射膜（增透膜） 1、等效光学导纳 2、单层减反射膜的最低反射率公式 3、掌握常见的多层膜系表达，例如G︱H L︱A代表什么？G︱2 H L︱A？ 4、什么是规整膜系？非规整膜系？ 5、单层减反射膜只能对 波段内的光波起增透作用。为了在较宽的光谱范围达到更有效的增透效果，常采用 的减反射膜。 6、V形膜、W形膜的膜系结构以及它们的特征曲线? ㈡高反射膜 1、镀制金属反射膜常用的材料有铝（Al）、银（Ag）、金（Au）等。 2、金属反射膜四点特性。P29 ㈢分光膜 1、什么是分光膜？ 2、分光膜主要有二种类型：一是金属分光膜；二是介质分光膜。 3、金属膜分光镜的一个共同的缺点是吸收损失较大，降低了分光的效率。 4、介质膜分光镜的特点。P30 5、偏振中性分束棱镜是利用斜入射时光的偏振，实现50/50中性分光。 ㈣、截止滤光片 1、什么是截止滤光片？什么是长波通、短波通滤光片？p33 2、截止光滤片的应用：彩色分光膜。 ㈤、带通滤光片 1、什么是带通滤光片？P58 2、什么是通带半宽度和相对半宽度？p59 3、F—P干涉滤光片？金属—介质F—P干涉滤光片；全介质F—P干涉滤光片p59 二、薄膜制造技术 1、热蒸发真空镀膜设备主要由三大部分组成：三个系统 p109 2、热蒸发法的基本原理。P111 3、真空度的计量；单位；测量。P112 4、PVD所需真空度基本确定原则。P112 5、旋片式机械泵工作原理。P113 采用旋片式的转子和定子组成，随着转子的旋转，不断地进行吸气、压缩和排气的循环过程，使连到机械泵的真空室获得真空。 6、油扩散泵的工作原理。P114 7、罗茨泵的结构、工作原理。P116 8、低温冷凝泵的工作原理。P116 请归纳下表（5-8）： 旋片式机械泵 油扩散泵 罗茨泵 低温冷凝泵 9、PVD使用的高真空系统（图3.3.7）工作原理。P117 11、什么是电阻加热法？p120 12、什么是电子束加热法？e型电子枪？p121 13、什么是溅射？p123 14、什么是辉光放电溅射？p123 15、什么是磁控溅射？p126 16、什么是离子束溅射？p128 17、什么是离子镀？p130 18、热蒸发镀膜与离子镀的绕射特性比较。P131 19、什么是离子辅助镀？p134 请归纳下表（11-19）： 电阻加热法 电子束加热法 溅射 辉光放电溅射 磁控溅射 离子束溅射 离子镀 离子辅助镀 三、光学薄膜制造工艺 1、真空镀制光学薄膜的基本工艺过程。P140 2、真空度对薄膜性能的影响。P140 3、沉积速率的影响。P140 4、离子轰击的影响。P141 5、蒸气入射角的影响。P141 6、基片清洁的影响。P141 6、什么是目视法膜厚控制？如何根据反射光的颜色近似判断薄膜的光学厚度？互补判断。p148 7、什么是极值法？p149 8、什么是石英晶振法？p152 9、什么是宽光谱膜厚监控？p154 10、可以获得均匀膜层厚度的蒸发源与零件位置：p158 11、改善膜层厚度均匀性的措施p158 四、常用光学薄膜材料 1、常见的金属薄膜有哪些？p182 2、铝膜、金膜的特性p182 3、常见的介质薄膜材料有哪些？p183