酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂溶解抑制机理-影像科学与光化学.pdf

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2017-08-24 发布于天津
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酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂溶解抑制机理-影像科学与光化学

22 1 Vol.22 No. 1 2004 1 PHOTOGRAPHIC SCI NC AND PHOTOCH MISTRY Jan., 2004 综述 - 高英新, 包永忠, 黄志明, 翁志学 ( , 310027) : 本文综述了酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理, 主要包括( 1) 分子间氢作用机理; (2) 偶联反应机理; ( 3) 两步即静态动态溶解抑制机理; (4) 表面沉积溶解抑制机理; ( 5) 酚醛树脂的分子溶解及相关的抑制机理. : 酚醛树脂; 重氮萘醌; 正性抗蚀剂; 溶解抑制 : 1000-3231(2004) 01-0033- 11 : TQ57 : A 1 (CTP) , PS -. (DNQ) . [ 1-4] , PS , M/A , PAC . , PS ( ) . [ 5-7] [8, 9] [ 10] , . 20 80 -. 2 : 2003-05- 30; : 2003-06-20; :,Tel:0571 -mail:baoyz@che.zju. edu. cn : ( 1972- ) , , , CTP . 33 34 22 2. 1 [ 11] 1 13 Koshiba GPCHPLCUV-VisIR H-NMRC-NMR , , 1. [ 4] 2 . 2 DNQ , , , , , , , . 1 Dissolution inhibition mechanism of photo-induced resist layer , , . , . 2 Photolysis and dissolution inhibition mechanism of novolak- diazoquinone positive resist 2.2 ) ) ) [ 11] Koshiba 1, 2--5-, ( 2 ) ( S ) , N , , , 3 . 1 : - 35 [ 12] Hanabata , ( R ) ( R ) . 6