EL(电致发光)测试仪培训.pptx

EL（电致发光）测试仪培训;目录;电致发光（EL-electroluminescent）缺陷检测是探知和监控电池片因工艺或材料本身所具有的一些缺陷的重要手段；通过EL图像的分析可以有效地发现硅片、扩散、钝化、印刷及烧结各个环节可能存在的问题。对改进工艺、提高效率和稳定生产都有重要的作用。因而太阳电池电致发光缺陷检测仪被认为是太阳电池生产线的“眼睛”。 左图为EL检测仪的基本结构。;EL测试原理;EL测试原理;EL测试原理;电致发光的亮度正比于少子扩散长度，正比于电流密度，如图三所示。;EL缺陷检测仪的主要应用体现在两个方面，一是找到缺陷所在位置，二是以2D图形方式表征各种缺陷，在正向偏压下，可检测如下所示的缺陷等电池特征： ; 材料本身导致的缺陷如下： 在工艺条件一定下，硅片的纯度越高、位错晶界越少、污染越少，制作出来的电池片的EL图片越亮：;典型EL图片分析;典型EL图片分析; 特征：片子表面整体发暗。 原因：1、拉制单晶过程中，头尾处会因杂质含量过高出现反型即N型片，增加电流EL图像逐渐变亮。 2、未扩散的电池片，增加电流无反应。 3：未制绒的电池片或背场未印的电池片。; 特征：线痕片导致的黑线，从电池片外观表现为条状的粗细不均和结点在MicroView下可明显看到突起的线痕。 原因：线痕处扩散，镀膜均较差且此处复合大，所以导致线痕处发暗。; 工艺本身导致的缺陷如下; ; 不同类型的EL图;; Rsh偏低的EL图;正偏;正偏;隐裂（或孔洞） 表征：片子呈现如图所示点状或线状全黑区域。施加反向电压有击穿现象，硅片表面有击穿点。 原因：来料或在电池片生产过程中产生隐裂导致在对其施加电流时上下击穿。 ;Eta小于10%的EL图; EL缺陷检测仪作为对电池片品质监控的一项重要手段，可以帮助分析工艺中存在的问题，但存在对某些现象无法准确判断产生原因的情况，尤其是对漏电方面，EL图片只能找出存在漏电的位置，很难准确判断产生漏电的具体原因，建议结合研发实验设备诸如SEM、IR Camera、WT2000、台阶仪等设备进行综合分析，例如在分析栅线断开时，即可对栅线异常处进行栅线厚度截扫描，在分析漏电时??通过对产生漏电区域进行SEM扫描，可更好的帮助分析，如下所示：;EL图像只是提供一种分析的手段，只能反映问题的存在，并不能反映问题本身，在使用和分析时需要更多的经验积累和对各种问题原因的本质分析，才能在发现问题时找到解决问题的方法。