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ISO10110简介 ISO10110系列标准包含内容 ISO10110-1：概述 ISO10110-2：光学材料缺陷?应力双折射 ISO10110-3：光学材料缺陷?气泡与杂质 ISO10110-4：光学材料缺陷?非均匀性与条纹 ISO10110-5：面形偏差 ISO10110-6：中心偏差 ISO10110-7：表面缺陷偏差 ISO10110-8：表面微观轮廓 ISO10110-9：表面处理和镀膜 ISO10110-10：元件技术要求的格式 ISO10110-11：非公差数据 ISO10110-12：非球面 ISO10110-13：激光辐射破坏阈值 ISO10110-7表面缺陷偏差 表面缺陷的标注方法： 一般表面缺陷用5/N×A表示，编号“5”是表面缺陷的代码，允许缺陷程度用N×A。N为允许最大缺陷的数量，A 为最大允许缺陷面积的平方根。 镀膜污点（可以从一般表面缺陷中分出）用C N×A表示，C是镀膜污点的代码。 长划痕（与镀膜污点相似，可以从一般表面缺陷中分出）用L N×A表示，L是长划痕的代码。N”是允许长划痕的数量，A”说明了划痕的最大允许宽度。 崩边用E A”’表示，E是边缘崩边的代号，A”’表示元件表面的边缘延伸的最大崩边量 注意：镀膜污点和长划痕如果图纸未专门给出，则所有缺陷都必须计算到一般缺陷中。 ISO10110-7表面缺陷偏差 对于划痕: A为 对于点子:A为　　R 如:要求5/3×0.063 缺陷全部为点子时允许最大尺寸点子为R=0.063/ =0.063/1.77=0.036 则点子直径为0.072 我们实际作业中可以让 =2则点子直径直接为0.063 如果缺陷是划痕假如我们观察到的划痕宽度为0.04，则允许的长度为L=(0.063×0.063)/0.04=0.0992mm 如果我们观察到划痕长度为0.5mm,则允许划痕宽度为 ( 0.063×0.063)/0.5=0.0079mm 密集: 密集的表面缺陷是不允许的。密集就是发现任意5% 的测试区域有超过20%的允许的缺陷存在。如果总的表面缺陷数是小于10， 有2个或更多的表面缺陷 落在5%的分区内，则称为密集缺陷。 不计算:当决定允许表面缺陷的数量时，不应计算等级为 0.16A或更小的缺陷. 有长划痕要求时，划痕宽度小于0.3 A” 的不应计算. 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 面形偏差 ISO10110-5面形偏差 ISO10110-5面形偏差 ISO10110-5面形偏差 面形偏差 ISO10110-5面形偏差 ISO10110-8表面微观轮廓 ISO10110-8表面微观轮廓 ISO10110-8表面微观轮廓 ISO10110-8表面微观轮廓 如果中心和边缘都有局部偏差的取最大值。 ISO10110-5弧矢差A计算 椭圆形条纹弧矢差 = (3+1）/2=2 双曲线形条纹弧矢差 =（2.5-1.5）/2=0.5 弧矢差A计算 需要样板从两个方向进行两次的条纹观察. 如果两次在两种情况下，条纹都向条纹曲率中心移动或都远离条纹曲率中心移动，则弧矢差大于不规则性. 如果两次中其一组条纹向条纹曲率中心移动而其他条纹图远离条纹曲率中心移动，那么不规则性大于弧矢差 弧矢差 弧矢差 不规则度B计算 椭圆形条纹不规则度 = │m-m’│ =(3-1）=2 双曲线形条纹不规则度 =│m+m’│ (2.5+1.5）=4 ISO10110-5 不规则度B计算 需要样板从两个方向进行两次的条纹观察. 如果两次在两种情况下，条纹都向条纹曲率中心移动或都远离条纹曲率中心移动，则弧矢差大于不规则性. 如果两次中其一组条纹向条纹曲率中心移动而其他条纹图远离条纹曲率中心移动，那么不规则性大于弧矢差 不规则度 = │m-m’│ 不规则度 =│m+m’│ 旋转对称不规则度C计算 等于通过直径方向上干涉条纹的偏差量与条纹距之比 表面微观轮廓镜面质量有三种描述方式： 1.均方根表面粗糙度Rq 2.表面上存在的微小缺陷的密度 3.功率谱密度（PSD）特性 粗磨表面粗糙度的表达方式如图所示 图中G表示未经抛光的表面。图中Rq的单位为um。图中例子所示指标要求为Rq=2um，取样长度为5mm。 图中P是微小缺陷要求参见下表的〈微小缺陷的抛光等级说明〉。图中例子的指标要求为在10mm扫描范围内的微小缺陷数量16，在0.0