2010薄膜试卷A.doc

《 薄膜技术与薄膜材料》课程期末试卷（A） 题号 一 二 三 四 总分 得分 得分 评卷人 一、填空（每小题1分，共30分） 1.为了研究真空和实际使用方便，根据各压强范围内不同的物理特点，把真空划分为______________，______________，______________，______________四个区域。 2. 典型的真空系统应包括__________________________， ____________________________和___________________________和一些必要的管道阀门等。 3. ______________方法只适用于在导电的基片上沉积金属和合金。不加任何电场，直接通过化学反应而实现薄膜沉积的方法是______________。 4. 溅射过程中所选择的工作区域是 _____________，基板常处于______________区，阴极和基板之间的距离至少应是______________宽度的两倍。 5. 薄膜的形成与成长有三种形式：______________ ，______________， ______________。 6. 电子衍射图案对于单晶衍射为______________ ，精细多晶为______________，大晶粒多晶且包含织构为 ______________。 7. 薄膜应力是薄膜重要的力学性质，它对薄膜的实际应用影响很大，它可以分为______________和______________。 8. ______________和______________是测量薄膜样品中分子振动的振动谱，前者是______________光谱而后者是______________光谱。 9. 表征溅射特性的主要参数有：______________，______________，溅射粒子的速度和能量等。 10.薄膜的组织结构分为四种类型：______________，______________，______________，______________。 得分 评卷人 二、名词解释（每空4分，共20分） 1. 真空蒸镀 离子镀 3. 分子束外延 隧道效应 俄歇电子 得分 评卷人 三、简答（每小题5分，共20分） 1．化学气相沉积中典型的化学反应有哪些？ 2．列举常见的真空蒸发镀膜的类型（至少五种）。 3．磁控溅射为什么具有“低温”、“高速”两大特点？ 4．简述电子束与物质的相互作用。 得分 评卷人 四、推导论证（每小题10分，共30分） 1．推导石英晶体振荡法测试质量膜厚的原理。 2. 试述溅射机理的动量转移理论内容，并推导出理论计算结果。 3. 纳米薄膜材料的制备工艺有哪些？其表征手段主要从哪几个方面考虑？相应的检测方法是什么？ 1 （《薄膜技术与薄膜材料》 课程 第 1 页 共8 页）