SEM-EDX培训材料1.ppt

Serve through People……Connect through Technology * Serve through People……Connect through Technology Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX 介绍 GQA SEM/EDX 介绍 Serve through People……Connect through Technology 一：SEM/EDX基本原理 二：样品制备 三：参数选择 SEM/EDX 介绍 Serve through People……Connect through Technology 一：SEM/EDX/EDS 介绍 SEM: Scanning Electron Microscope 扫描电镜 EDX: Energy Dispersive X-Ray Spectrometer 能量色散X射线光谱仪 EDS: Energy Dispersive Spectrometer 能量色散光谱仪 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 1. X射线产生原理： X射线的产生是由于入射电子和样品发生非弹性碰撞的结果。当高能电子与原子作用时, 它可能使原子内层电子被激发, 原子处于激发状态, 内层出现空位。此时,可能有外层电子向内层跃迁,外层和内层电子的能量差就以光子的形式释放出来,它就是元素的特征X射线。 光谱仪接受此特征X射线的光子，进行元素含量分析。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 入射电子轰击样品原子,产生二次电子,X射线和背散射电子。入射电子从样品原子电子壳内层反射出来二次电子。入射电子从样品原子电子壳内层散射出来背散射电子。入射电子与样品的原子作用，原子外层电子向内层跃迁,产生X射线。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 入射电子与试样作用,产生二次电子,背散射电子，X射线。试样深层产生的二次电子被试样吸收,只有试样在表面产生的二次电子能被检测到。背散射电子和X射线发生在比二次电子深层的地方。二次电子在离试样表面10nm地方产生,背散射电子在离表面300nm的地方产生,X射线在离试样1000nm的地方产生。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 SEM原理：电子枪内灯丝加热产生电子，电子束通过阳极改变，通过聚光镜和聚光镜光栏控制电流和分辨率，由物镜聚焦电子探头，物镜光栏逐级改变探头大小。由扫描线圈扫描试样形成图像。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 能谱仪中EDX检测器、二次电子检测器和半导体背散色电子检测器，接受入射电子与试样产生的X射线、二次电子和背散色电子进行SEM/EDX分析。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 EDX分析：能谱仪中EDX检测器接受入射电子与试样产生的X射线, 进行EDX分析。特征X射线以光谱线显示，EDX自动辨认元素。右下图是IC试样的光谱线图。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 每种元素都有特定的X射线, 并对应相应的X射线能量, 如上表所示。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 : 二次电子和背散色电子 二次电子SE：二次电子SE检测器接受入射电子与试样产生二次电子，进行SEM分析。 二次电子SE特点： 1.二次电子主要来自试样表面,只有试样表面产生的二次电子能被检测到,因此SE用来分析样品的表面形状,外观形貌特征。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 : 二次电子和背散色电子 2. 它与加速电压存在一定的关系,当加速电压越低时,SE分辨率越高,越适合观察表面形状。所以低电压适合观察表面形状。备注: 并不是越低越好,因为当加速电压降低,探头直径变大,当直接大于二次电子深度,信息流失,此时并不适合观察。比如，钨灯丝电子枪，当加速电压很低时0.5KV,信息流失,不适合观察。