用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究.pdf

用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究——方杰刘泽文陈忠民等 方 杰 刘泽文 陈忠民 刘理天 李志坚 清华大学，北京，100084 摘要：介绍了一种利用MEMS工艺实现的用于射频领域的无源LC低通滤波器的设计、仿真和制作。该低 基于MEMS无源元件(电容和电感)的集总物理模型，实现了对LPF实际性能的等效电路仿真，同时进行了版 1．2dB(在1GHz下)，制作工艺与标准CMOS工艺兼容。 关键词：射频；MEMS；无源滤波器；集总模型 中图分类号：TN385；TN713文章编号：1004—132x(2005)S1一0173一03 ofa PassiveLCFilter DesignRFMEMS Jie LiuZewenChen LiuLitianLi Fang Zhongmin Zhijian TsinghuaUniversity，Beijing，100084 Abstract：The andfabricationofaRFMEMSLC filterwere LPFde— design，simulation IOW—pass presented．The minimum and wasbasedonabasic structure，with——3dBbandwidthof3GHzmidbandinsertion sign capacitorprototype lossoflessthan tOthe modelof MEMSinductorsandMIM 2dB．Accordingphysical on--chip capacitors。theequivalent circuitofLPFwassimulatedandverifiedwith andstructuralsimulation．TheLPFwas withMEMS layout accomplished is withstandardCMOSIC results bandwidthof compatible process，which technology．Measurementgive一3dB 2．925GHzandmidbandinsertion10SSof1．2dBat1GHz。 words：RF；MEMS；LC Key filter；lumpedmodeling 0 引言 过天线后的RF滤波器和经过低噪声放大(LNA)后的镜 无线射频(RF)接收机中需要用到多个高性能的滤波像抑制滤波器，大部分采用的是陶瓷滤波器；经过下变频 器。目前这些滤波器基本上都是由分立元件实现的，如经 后的中频(IF)滤波器主要采用的是表面声波(SAW)滤波 器[1]。这些分立元件不仅占用了RF前端的很大一部分面 积，也成为整个RF系统集成的一大瓶颈。 收稿日期：2005一04一06 利用片上电感和电容实现无源滤波器是解决这一问 基金顶目：国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033105)