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基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究-中国机械工程
中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月
23 12 2012 6
基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究
吴志顺 崔长彩 叶瑞芳 黄 辉 李 兵 黄春棋
暋 暋 暋 暋 暋 暋 暋
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华侨大学 厦门 361021
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摘要 为了解决实际操作中人工寻找干涉条纹费时 不准确和干涉扫描范围难以精确确定等问题
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提出了一种自动扫描技术 实现了白光干涉仪的自动对焦和干涉扫描范围的自动确定 该技术采用全
。 , ; ,
新的基于图像灰度方差变化的方法 首先 计算图像灰度方差变化比值 然后 将该比值与预先设定的
, ; , 。
阈值进行比较 判断干涉条纹初始和结束位置 最后 根据这两个位置 自动确定干涉扫描范围 实验证
: ,
明 当阈值取 0灡5时 采用粗精双级结构的白光干涉仪能在 3min内准确完成 1灡2m被测高度的自动扫
毺
, 。 。
描过程 约是手动调节速度的两倍 该技术提高了白光干涉仪的自动化水平及使用效率
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关键词 白光干涉 自动扫描 干涉条纹 图像处理
中图分类号: ; ; : /
TH741 TP271.4 TP317.4暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2012.12.020
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ResearchonWhite-lihtInterferometerAutomatic
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Scannin Technolo BasedonThreshold
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WuZhishun暋CuiChancai暋YeRuifan暋Huan Hui暋LiBin暋Huan Chuni
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HuaiaoUniversit XiamenFuian361021
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AbstractInordertoovercometheinefficiencandlow recisionofmanualsearchforinterference
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frinesandthedifficultofdeterminin inte
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