超精密抛光自由曲面光学的表面生成-polyuira.pdf

第 卷第 期 年 月 39 3 红外与激光工程 2010 6 Vol.39 No.3 Infrared and Laser Engineering Jun.2010 超精密抛光自由曲面光学的表面生成 张志辉，何丽婷，孔令豹，李荣彬 (香港理工大学 工业及系统工程学系 先进光学制造中心，香港 九龙 00852) 摘 要： 超精密抛光是一种新兴的用于制造高精度、 高品质的自由曲面光学加工技术。 该技术可 突破其他自由曲面加工技术的限制，如飞刀铣削和快刀伺服加工的低效、非铁材料的局限等。 然而，对 超精密抛光中表面生成机理的理解， 目前还不完善。 探讨了超精密抛光过程中加工策略对表面生成的 影响，进行了一系列抛光实验。 研究结果表明：抛光表面的质量很大程度上依赖于加工过程条件及抛 光策略的适当选择。 抛光加工不仅可用于去除其他加工方式所产生的不利性刀纹，还可以产生功能性 应用的结构性表面。 该研究结果为深入理解超精密抛光自由曲面光学的表面生成机理，以及优化超精 密抛光的表面质量，提供了重要依据和方法。 关键词： 表面生成； 超精密抛光； 自由曲面光学； 加工策略； 过程规划与优化 中图分类号： TB249 文献标识码： A 文章编号： 1007-2276 （2010 ）03-0496-06 Optical surface generation in ultra -precision polishing of freeform CHEUNG Chi -fai, HO Lai -ting, KONG Ling -bao, LEE Wing -bun （Advanced Optics Manufacturing Centre, Department of Industrial and Systems Engineering, The Hong Kong Polytechnic University, Kowloon 00852, China ） Abstract: Ultra -precision polishing is an emerging technology for the fabrication of high precision and high quality optical surface of freeform. It is capable of overcoming the shortcomings of other ultra -precision freeform machining technologies, such as the low machining efficiency and non -ferrous materials limitations for ultra -precision raster milling and fast tool servo machining. However, our understanding of the surface generati