afm/mfm操作步骤.doc

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afm/mfm操作步骤

AFM/MFM 操作步驟: 裝探針 將探針放入older中,靠一邊對齊夾具壓上時要維持探針水平 ※MFM探針裝入Holder後,需要「倒置」在磁鐵座上約三~五分鐘。 將裝進調整雷射光點至beam上光點形成半月形或三點,調整ectector位置到中央按音叉鈕uto tune」,調出探針頻率 ※MFM探針掃頻範圍請設定在0~100 kHz。(MFM探針共振頻率通常約在70 kHz左右) Drive amplitude建議值為100mV以下,若Drive值過大,則重新調整探針。 左邊螢幕上的RMS Ampl值會再0.78V左右。 若有動到探針座上的任何鈕,務必要重新做一次Auto Tune。 放試片為透明試片聚焦 若找不到探針,檢查燈源(Illumination值為100)是否正確,並利用Zoom來找到探針。 滾輪使用方式如右: 直接移動滾輪可控制X-Y方向,若按住Z-axis、Focus可移動Z軸方向。按住Speed可加快移動速度。 探針聚焦 按黃色鈕,自動 移到AFM機台上之顯微鏡上的X-Y方向旋鈕,使 “+” 對至探針2/3位置 點選OK,回到主畫面。 表面聚焦 使用滾輪水平移動到容易聚焦的位置,例如雜點、試片邊緣,接著按著Z軸不放,調整滾輪,聚焦到表面(找到第二次模糊的點,然後退回清晰的點)。Z軸移動的反應會較遲鈍,不要移動太快。 水平移動到要測量的位置。 下針將Scan Controls視窗內設定掃描範圍及其他設定。 Feedback Controls視窗內設定訊號參數,Channel 1視窗內設定樣品高度。 下針、測量 點擊下針鈕,機台開始下針;完成後,螢幕下方Moter數值要在80 ~ 120 μm左右。 點選頗面掃圖鈕。 將Scan Controls:Slow scan axis選擇Disabled,並在Feedback Controls:Setpoint欄位上,按鍵盤左鍵三次,然後再慢慢按下(一般約在0.3 ~ 0.4 V),調整到Trace與Retrace訊號越接近越好。 將Scan Controls:Slow scan axis選擇Enabled,點選眼睛鈕回到俯視畫面。 調整Scan Controls:Scan angle,並選擇往上、往下掃瞄鈕(可暫時調整Scan Controls:Lines以加快速度)。 在正式掃瞄完成前,點選相機按鈕,可儲存該次掃描結果(螢幕下方會顯示Capture: On,存好了會顯示Done)。 掃描技巧:可先掃瞄大範圍找到位置,然後再縮小。 步驟:大範圍掃瞄好以後,使用左螢幕上方的「Zoom in」選擇精確掃描範圍,然後點選Excute。 MFM掃描模式: AFM掃描圖形穩定以後,開啟Channel 2(選擇Phase模式)。 Interleave Mode選項中,選擇Lift模式,並把Start, Scan height設定在50 nm。 調整deg大小,讓圖形呈現最佳狀態。 結束掃描 點選上針紐 點選Stage→Load New Sample,載台會自動退出。 將設定參數調回預設值,燈源亮度調回0。 ※MFM掃描完成以後,記得把掃頻範圍調整回100~500 kHz。 資料分析 點選右螢幕右上方按鈕 ,選擇剛才儲存的檔案。 選擇3D顯示,可調整光源位置及色階。 點選右螢幕上方「量尺」按鈕,然後選擇左螢幕右上方Crusor選項,並用Marker(有三組)來選擇計算位置。 黃建喨學長 0931338231, (03)5913523 無塵室12845 明芳學姐 (03)5918335 ←初始設定為3~5μm(最大掃描範圍為20μm) ←Rate和Velocity為相依變化。Rate最大值0.8Hz,Velocity最大值3μm/s ←掃描圖形長寬比 ←掃描角度(建議值為90) ←橫向與縱向解析度 ←縱向移動設定(Enable: 有移動掃描 Disable: 固定橫線掃描)

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