RL9800X荧光光谱仪真空系统中文说明书.doc

ARL9800 X荧光光谱仪真空系统中文说明书 ----------------------------------------------------------------------------------------------------- 9800的真空系统和以前的84/86及9400都不同，这是因为除了进样方式和试样室结构不同外还使用了分子泵。9800真空系统使用了二个泵：低真空油泵和高真空分子泵。 低真空油泵（Pump2,，P2）主要用于试样进出时的试样室抽空以及光谱室的前期抽空，它有二种工作方式，即全工作方式（ Full Mode，220V供电）和半工作方式（Half Mode，110V供电），按真空度情况由XQM控制自动切换。高真空分子泵（Pump1，P1）用于光谱室抽空，它的转速可按光谱室真空状态由XQM控制变化，通常处在12000--27000rpm（转/分）。由于分子泵没有油气污染而且可以改变转速从而维恃真空稳定，所以保证了光谱室有一个清洁稳定的分析环境。 一. 抽空顺序： 仪器一通电，XQM首先获取光谱室（SP）真空状态参数。 1. 如SP25KPa，XQM认为光谱室处于真空，给二个泵供电起动，使P2处在全工作方式而P1转速升至15000rpm，同时打开光谱室抽气阀门V1抽空。当SP1000Pa，XQM会命令P1提速至27000rpm继续抽空。在到达SP13Pa，XQM将使P2改为半工作方式，P1继续维恃高速。在整个过程中，试样室始终处于大气状态，这时仪器处在待分析状态。 2. 如SP25KPa，ICS认为光谱室处在大气或接近大气状态，二个泵都不供电起动，等待环境设置的命令。环境设置可用软件设置或终端命令SE 1( 。 3. 环境设置命令输入后，首先试样室的Loading Lift下，Shutter关，使试样室与外界隔离。1) 这时XQM对P2供电并使之处于全工作方式，打开试样室抽气阀门V2，对试样室抽空。 2) 当PC= SP时，XQM 命令打开输送杯外框(shell)使试样室和光谱室联通，同时P1通电，转速逐渐升至12000rpm。 3）当SP25KPa，打开光谱室抽气阀V1，P1转速升至15000rpm，二个泵同时抽。 4）当SP1000Pa，P1转速升至27000rpm，继续二个泵同时抽。 5）当SP13Pa， P2改为半工作方式，P1继续维恃高速抽光谱室。 6）紧接着XQM 命令关闭Shell使试样室和光谱室隔离，试样室抽气阀门V2关闭，试样室进气阀V3打开使试样室进气成大气然后V3再关闭，试样室的Shutter打开，Loading Lift上，使试样室与外界连通。 这时光谱室真空，试样室大气，仪器处在待分析状态。 二. 抽空中止（Pumping suspended）： 抽空中止是在抽空过程中的一个特殊状态，这时V1和V2被关闭，P1和P2的供电被切断。 上述的任一抽空过程出现问题，都会引发抽空中止。例： 1. 当上述3-2过程抽了30 分钟后，还到不了SP25KPa； 2. 当上述3-3过程抽了60 分钟后，还到不了SP1000Pa或又大于25KPa了； 3. 当上述3-4过程抽了60 分钟后，还到不了SP13Pa或又大于25KPa了； 4. 开机时SP真空，按上述1过程抽了5 分钟后，还到不了SP13Pa或又大于25KPa了； 5. 光谱室处在真空下，但突然SP100Pa。 处在抽空中止状态下要恢复抽空，必须重新设置环境。 三. 油泵（P2）的电路控制： 油泵控制涉及的电路有：Power Distrubution(板号S702593图号S111852)；XQM(板号S702416图号S111556，S111853)；XSP(板号S702594，图号S111851) 油泵电路控制较为简洁。油泵电机接的相中地三线由PD板的TS911输出，其中仅相线(TS911-1)受控制。电源220V相线经继电器IC2输出至TS911-1；由生成24V的变压器初级线圈中心抽头引出的电源110V相线经继电器IC3输出至TS911-1。 油泵的控制采用微处理器输出命令，由XSP板上的功率驱动片IC4(L293D)的输出去驱动PD板上的IC2或IC3继电器，从而供给油泵电机不同的电源。 有关的输入信号路径如下： EnVacPmp2 由XQM PPI2/PA2(J151/15C(XSP J152/15C(IC4/1 In1VacPmp2 由XQM PPI2/PB3(In1MoPbLi)(J151/16B(XSP J152/16B(IC4/2 In2VacPmp2 由XQM PPI2/PB4(In2MoPbLi)(J151/16C(XSP J152/16C(IC4/7 有关的输出信号路径如下： Pmp2Full 由