第05章-超高真空技术简介.ppt

表 面 物 理 学; 清洁表面的获得 1.1 超高真空的意义 1.2 清洁表面的获得手段 2. 分子束外延简介 3. 外延生长 3.1 外延生长的定义 3.2 外延生长的动力学过程 4. 反射式高能电子衍射 5. 分子束外延应用实例;超高真空技术简介;超高真空基础;真空分类;超高真空(Ultrahigh Vacuum)技术 －－获得清洁表面的前提;得到;平均自由程;; 超高真空 为各种表面科学研究、材料生长和器件应用的基础;1958年，第一界国际技术会议建议采用“托”(Torr)作为测量真空度的单位。国际单位制(SI)中规定压力的单位为帕(Pa)。;;Multi-probe UHV system;Mini-UHV system;超高真空的获得;系统的极限压强;真空系统中的气体源;超高真空兼容的材料;超高真空应避免的材料;超高真空腔体;表面出气达到平衡的时间随温度的变化;烘烤（150-200 oC）;不可拆卸密封方式;可拆卸密封方式;静密封：CF法兰;动密封：机械运动;;角阀;闸板阀;漏阀;真空泵分类;泵的抽速和极限压强;压缩比;涡轮分子泵 （molecular turbo pump）;工作原理;抽速 vs. 转速 ;压缩比;抽速 vs. 分子质量;抽速 vs. 工作压强;溅射离子泵（sputtering ion pump）;对惰性气体的抽速不敏感，氩气的抽气率只有氮气的1%。;抽速 vs. 工作压强;钛升华泵（sublimation pump）;;冷凝泵（cold trap）;组合泵;超高真空的测量;真空测量;冷阴极离子规（Cold cathode ionization vacuum gauges）;热阴极离子规 (Hot cathode ionization vacuum gauges);两种真空规的比较;质谱仪;Sector field mass spectrometers ;Quadrupole mass spectrometers;Stability diagram;Mass spectroscopy;超高真空的检漏;检漏气体的要求;检漏方式;模式一：Local mode;模式二：Integral mode;方法一：残气成分分析;方法二：示漏气体动态检漏;四极质谱仪检漏的优点;小结;参考文献;“There’s Plenty of Room at the Bottom.” --Richard Feynman, Dec. 29th, 1959;表面物理考试 时间 ：12月31号18:40-20:40 地点：理教106 方式：开卷考试