SD300蒸发镀膜机使用说明书.docVIP

JSD-300型真空镀膜机 使 用 说 明 书 安徽嘉硕真空科技有限公司 目 录 1、概述…………………………………………………………………………………………………………3 2、主要技术性能参数………………………………………………………………………………3 3、设备安装……………………………………………………………………………………………….5 4、操作规程……………………………………………………………………………………………….5 5、使用注意事项、维护与保养…………………………………………………………….7 6、设备主要配置……………………………………………………………………………………….8 7、技术资料清单…………………………………………………………………………………………9 一、概述 JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。 二、主要技术性能参数 真空室：φ300*H450mm； 基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）； 最大可镀工件直径：φ120mm； 极限真空度：1X10-4Pa; 抽气时间：大气压~8*10-3Pa小于20min； 蒸发：电阻式蒸发电极（2对） 功率：2KW； 开启方式：上翻盖结构； 真空系统：机械泵+分子泵； 设备结构介绍： 真空室 钟罩结构，上盖开启。不锈钢材质，前面配φ100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源等； 真空系统 采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构； 电气系统 电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。 系统示意图如下所示： 图1 JSD-300真空镀膜机示意图 三、设备安装 3.1、机架平面尺寸：L1200×W700mm。 3.2 、配套设施准备 设备安装前，客户应提供如下条件： 3.2.1 整机配电要求 安装位置附近应有易得的电源插座； 供电：交流220V，8KW。 3.2.2 联接地线要求 本设备必须进行良好接地。使用前，需将设备与安装场地内的地线进行有效连接。 3.2.3 冷却水安装 设备使用时，须对分子泵、电极等进行冷却。设备使用前，先接通冷却水。 四、 操作规程 4.1 开机准备工作 4.1.2 冷却水检测：将设备的冷却水接通后打开冷却水阀门，为设备供水，观察出水口是否有水流出，保证各水路畅通。 4.1.3 电气检查：检查总供电电源配线是否完好，地线是否接好，所有仪表电源开关全部处于关闭状态。 4.1.4 真空系统检测：检查分子泵、机械泵油是否达到使用要求。检查所有手动阀门是否处在关闭状态（注意，本设备中所使用的手动阀门，顺时针方向为关，逆时针为开）。确定真空室已经处在抽真空的准备状态。 4.1.5 镀材安装：本设备的配置二组蒸发电极，蒸镀前在蒸发舟上安装需要镀制的材料。 4.1.6 基片安装：先将样品（待镀基片）清洗干净后，将基片装到基片盘上。 4.2 开机 4.2.1 启动总电源：确认所有电源开关都在关闭状态后，转动总控制电源开关，相关仪器表盘灯亮，供电正常。如果相关仪器表盘灯不亮，应检查供电电源是否有问题。在确认电源正常之后方可进行下一步工作。 4.2.2 启动机械泵: 按下控制面板上的机械泵开关，机械泵指示灯亮，此时机械泵工作。机械泵工作后，打开预抽阀，对真空室进行抽气，然后打开电磁阀对分子泵泵腔进行预抽。打开真空室复合真空计进行测量。（复合真空计及规管说明书见附件：《微机型数显复合真空计使用说明书》。） 4.2.3 启动分子泵：确认分子泵的冷却水均处于接通状态，待真空度达到10Pa以下时，打开分子泵控制器（按下分子泵控制电源面板上的工作按纽），启动分子泵，约1-2分钟分子泵完全启动后，关闭预抽阀，打开插板阀对真空室进行抽气。 4.3 镀膜 用分子泵+机械泵对真空室连续抽真空，利用复合真空计监测真空室内的真空度。待真空室内本底真空度达到本次实验所预期要求后，即可准备镀膜工作。 4.3.1先将调压开关调整至零位（逆时针转到最小）； 4.3.2确定蒸镀电极，在控制面板上先确定本次实验所需要的一组或多组电极，再根据实验需要依次或同时打开一组或二组电极； 4.3.3开启实验所需要的蒸发电压按钮，旋转调压器（00-100A左右），先将电阻蒸发丝预热，然后调整蒸发电流直至膜材完全蒸发。 4.3.4设备配套一个四通道膜厚仪，在镀膜过程中可实时监测膜厚，具体操作方法见使用说明书 4.3.5设备配置一套温控加热电源，可在加热过程中对