了解超纯水的预处理工艺一保安过滤.pdf

一 一 — — 堕棼簟盥 了解超纯水的预处理工艺一保安过滤 j鳋 5曩錾 超纯水系统的预处理系统主要功能之一就是降低 RO膜进水中 等才是考量过滤性能的重要指标。目前， 的颗粒大小和含量 ，从这个层面来说，超纯水预处理系统就显得尤 3M 中国有限公司过滤实验室对保安过滤 为重要。超纯水预处理系统主要分为混凝沉淀、砂滤、活性炭吸附 器的评估有在线评估和实验室评估两种。 保安过滤等常规处理工艺。其中对颗粒 的过滤主要有两个过滤点： 一 是粗滤 ，采用砂滤或者沉淀方法去除原水中大颗粒杂质 ；二是RO 在线评估 膜颗粒杂质过滤器，采用滤芯或者滤袋 以除去原水 中小颗粒杂质。 在线评估，就是将过滤器直接安装 颗粒杂质过滤器也称为保安过滤器，一个良好的保安过滤器可以大 到客户现场，设置相同时间节点，通过 大提高RO膜进口水质，从而延长 RO膜的使用寿命和降低化学再生 监控在此时间段内过滤器过滤效率、使 频率，综合降低超纯系统的运行成本。 用寿命、流量、压降等方式来评估不同 过滤器的过滤性能，并根据此实验结果 文 ／张长宝 选择合适的过滤系统。此方式简单、有 效 ，但在线评估时间较长 ，因为一般而 超纯水广泛用于电子工业、原子能水系统的预处理系统主要功能之一就是 言，保安过滤器的使用寿命在 1～6个月 不等，那就意味着此试验至少运行一个 工业、化学药品工业、饮料行业等，其 降低 RO膜进水中的颗粒大小和含量， 月以上，而且作为在线评估 ，需要过滤 中尤以在微电子技术、半导体集成电路 从这个层面来说，超纯水预处理系统就 厂商提供相当数量的过滤滤芯 (滤袋)， 应用最广。每个微电子技术、半导体集 显得尤为重要。超纯水预处理系统主要 对供应商和用户都存在一定的风险。通 成电路工厂都有一个或者多个超纯水供 分为混凝沉淀、砂滤、活性炭吸附、保 常，在线评估由供应商和用户相关技术 应系统。超纯水的检测指标较多，如电 安过滤等常规处理工艺。 人员共同完成，过滤厂商负责提供过滤 阻率、TOC、微粒、SiO，、菌落等，其 对于保安过滤器的性能评估，目前 技术培训以及测试培训，客户负责在线 中水中杂质微粒 (或微生物)的数量和 鲜有文献报道，通用的方式是采用污染 监控和过滤相关的技术指标 ，最终由双 大小要求尤为严格。随着微 电脑集成 电 指数 (SDI)来表征RO膜进出口水质，一 方出具正式的性能评估报告。 路方面的不断突破，电路的线宽 已缩 般要求RO膜进 口水质≤5，这就要求保 图2为3MCUNOPK51xm滤芯与某 小到90nm，Intel公司最近 已经开发出 安过滤器出 口水质≤5。但是这个检测 品牌 SW 5gm滤芯在线评估的使用寿命 30nm技术。那就意味着在芯片生产过 指标无法对过滤器性能作出实际的评估， 与压差对比图。实验过程中，将 CUNO 程中如果高纯水中含有0．05~tm以上的 因为过滤效率、使用寿命、流量、压降 PK5gni滤芯与SW5gm滤芯分别安装 杂质，都会导致 电路短路而失效，由此 可见高纯水在电子行业的重要性。 图1是典型超纯水的工艺流程 图， 其中超纯水系统中的核心单元 反渗透 膜 (RO膜)主要应用于去除进水中的 可溶解盐，但是如果RO膜进水中含有 大量的微粒杂质，这些颗粒杂质将会粘 附在RO膜表面，堵塞孔径，使RO膜 通量降低，动力要求提高，严重的还会 划伤RO膜，使R