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第卷第期材料科学与工艺年月新型界面结合强度检测技术理论及实验研究于斌斌袁军堂孙淮阳吴笑天南京理工大学机械工程学院南京江苏大学机械工程学院江苏镇江摘要膜基界面结合强度的测量与评价已成为硬质薄膜技术发展与应用的关键问题提出了种新的测量方法激光冲击检测技术分析了在脉冲激光作用下薄膜脱落的机理与数学模型以测定薄膜界面结合强度为例用的脉冲激光对膜层进行加载并采用体式显微镜和扫描电镜对薄膜的脱落情况进行表面观察根据反射信号检测法判别薄膜的失效阈值实验数据分析表明测得膜基界面的结合强度为验证了该技术的可行性关
第 卷第 期 材料科学与工艺
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新型界面结合强度检测技术理论及实验研究
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