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钛掺杂三氧化钨薄膜结构与电致变色性能研究-无机材料学报.pdf

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第卷第期无机材料学报年月文章编号钛掺杂三氧化钨薄膜结构与电致变色性能研究彭明栋章俞之宋力昕尹小富王盼盼吴岭南胡行方中国科学院上海硅酸盐研究所中国科学院特种无机涂层重点实验室上海中国科学院大学北京摘要通过射频溅射法常温下制备了纯相和掺杂薄膜采用电化学工作站紫外可见近红外分光光度计等对薄膜的微观结构循环稳定性光学性能进行了表征和分析研究发现钛掺杂对薄膜的表面形貌和光学常数影响不明显但使薄膜的晶化温度升高电化学测试结果表明掺杂可以提高离子在薄膜中注入抽出的可逆性提高薄膜的循环稳定性同时薄膜的响应速度和

第 32 卷 第 3 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 32 No. 3 2017 年 3 月 Journal of Inorganic Materials Mar., 2017 文章编号: 1000-324X(2017)03-0287-06

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