FPSSensorSystems皮米精度激光干涉仪-Quantum量子科学仪器贸易.PDF

FPS Sensor Systems 皮米精度激光干涉仪 皮米精度 3路激光探头 具备环境补偿单元 紧凑设计，极高稳定性 FPS Sensor Systems将带给您前所未有的激光干涉测量感受， 详情请咨询attocube大中华区总代理Quantum Design 中国子公司 1 FPS3010 皮米精度激光干涉仪 attocube公司的皮米精度激光干涉仪充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，其紧凑的设计和稳 定性科研在极端环境中使用，在极大的位移测量范围内，达到25pm的位移分辨率和10MHz的采样速 率，应用范围遍及闭环扫描器校准，样品或模块位移，加工业，精密制造等领域。 皮米精度激光干涉仪主要特点： 测量精度高，分辨率达 1 pm 测量速度快，采样带宽10 MHz 样品移动最大速度：2 m/s 光纤式激光探头尺寸小，灵活性高 最小激光探头：直径 1.2 mm 具备环境补偿单元 集成软件，操作简单 工作距离：0-3 m 具备德国计量院认证证书 激光探头兼容超高真空与极低温环境 激光探头可跟据客户要求进行定制 2 FPS3010皮米精度激光干涉仪概述 德国attocube公司作为纳米科学领域年轻的仪器供应 商，以其掌握的纳米精度定位专利成果和强大的技术 实力，研制开发了皮米精度位移激光干涉仪，推出市 场以来深受用户赞誉。 皮米精度激光干涉仪：相比于市场上现有产品，在测 量精度、测量速度与便携性方面具有巨大优越性。光 纤式激光探头具有灵活小巧的特点，使得设备调节步 骤变得显著的简洁。因而，设备甚至可以在受限制的 空间范围内进行实验。光纤式激光探头还可以在极端 环境中使用，例如在超高真空，极低温（液氦温度 下），强辐射等环境。 FPS3010皮米精度激光干涉仪工作原理 FPS是基于激光干涉原理测量距离变化，下图 b为干涉示意图。出射激光在激光探头处部分反射激光会 与样品处反射激光发生干涉效应，因而产生干涉环。 特定干涉环强度与样品位置变化有周期性关系(下图a) ，最强光强的周期为四分之一激光波长。从而， 根据该关系可以精确测定样品移动距离。 a