ImprintNano纳米压印仪.PDF

上海纳腾仪器有限公司 上海纳腾仪器有限公司 上上海海纳纳腾腾仪仪器器有有限限公公司司 ImprintNano ImprintNano IImmpprriinnttNNaannoo纳米压印仪 ImprintNano压印设备制造有限公司以世界前沿、尖端的技术之一——纳米压印技术为 基础、完全掌握纳米压印核心技术、依托于南京微结构国家实验室与南京大学材料科学与工 程系这一雄厚的科研平台，致力于研发具有自主知识产权、世界先进水平的纳米压印设备、 模板、压印胶材料等系列纳米压印产品，提供完善的纳米微加工与纳米压印技术服务。 YPL-NIL-400 YPL-NIL-400 YYPPLL--NNIILL--440000紫外光固化和热压两用型纳米压印机介绍： 根据纳米压印的技术与工艺特点，独创性地设计和制备 工作于低真空环境下，结合正负压可控调节并利用压缩 空气作为压印驱动力的，通过压力传导装置、缓冲与匀 压、压力调节控制装置等手段实现平稳可靠可控的压印 过程，借助于多种灵活的自动调节装置的巧妙设计与运 用，实现压印中的自动找平调控，以保证模板纳米图案 均匀精确的大面积复制转移。该纳米压印机利用紫外曝 光或者热压固化实现压印图案在压印高分子胶层中的 复制，并通过各项功能与过程参量的优化与筛选，通过 远程 PLC 控制系统结合触摸屏单元，实现纳米压印全 过程的实时监控与全自动化控制。 技术特点： ● 温度范围从室温到350摄氏度 ● 压力范围从0到300个PSI（对于4英寸晶元） ● 最大压力超过100个大气压。 ● 紫外曝光系统 ● 真空范围从1个标准大气压到0.1帕 ● 水冷系统 ● 样品尺寸直径最大4英寸 ● PLC 远程控制，带触摸屏 ● 手动装载样品和模板 上图为15nm特征尺寸的压印结果 ● 自带机器控制软件 ● 在软件控制下可实现自动增加和释放压力 可定制更大样品尺寸或更大压力系统的纳米压印机，此外我们还能提供压印胶， 模板等各种定制服务。 上海纳腾仪器有限公司 ShanghaiNTICo.,Ltd. ShanghaiNTICo.,Ltd. SShhaanngghhaaiiNNTTIICCoo..,,LLttdd.. Tel 021 admin@ Tel 021 admin@ TTeell 002211--6644228833333355 wwwwww..sshhnnttii..ccoomm aaddmmiinn@@sshhnnttii..ccoomm ： 上海纳腾仪器有限公司 上海纳腾仪器有限公司 上上海海纳纳腾腾仪仪器器有有限限公公司司 压印胶以及模板 公司能够提供齐全的纳米压印系列的压印胶材料，热压型纳米压印胶、热塑型纳米压印 胶、紫外光固化型纳米压印胶、紫外光固化纳米压印和光刻两用胶、举离型传递层材料、刻 蚀型传递层材料、各种与纳米压印技术相关的化学药品，如模板防粘剂、基片增粘剂等。此 外，我们还能为客户定制不同的压印模板。适用于Obd