微机械加速度计.pptx

微机械加速度计;加速度计：;V2;民兵Ⅱ;超军旗舰载机（法）;自加速度及问世以来的半个多世纪，其应用主要局限于军事领域。直到近年来，在微米/纳米技术前沿技术的推动下，以集成电路工艺与微机械加工工艺为基础的微机械加速度计的问世，使得加速度计成为微型惯性测量组合的核心元件之一，并迅速地应用到民用领域。 ;分类;按信号检测的方式;按加工工艺;按材料;工作原理;式中，x为位移，k为等效弹性系数，c为等效阻尼系数，m等效惯性质量，输入加速度。根据式（1）可以求出位移量和输入加速度的关系公式：;工艺过程; 电路调试主要依靠基础测量仪器来完成，主要有数字电压表、函数发生器、频谱分析仪和专用计算机数据采集系统以及数据处理软件。需要调整的主要参数有正负电源的对称性，预载电压与表头测试的预载电压相匹配，用时域分析法测试电路的频率特性，使超调量、阻尼比和响应时间符合系统要求等。合格的电路板与表头进行二次回流焊接后，进行闭环性能测试和模型参数测试，最后采用平面封焊机完成密封，形成成品微机械加速度计。;应用;1 汽车安全装置;2 探矿测震;3 机器人状态控制;4 其他应用;发展趋势;(5)将微机械加速度计表头和信号处理电路集成在单片基体上;分工;THANK U